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タイトル: High Rate Zinc Oxide Film Deposition by Atmospheric TPCVD Using Ar/Air Plasma Jets
著者: ANDO, Yasutaka
KOBAYASHI, Akira
TOBE, Shogo
TAHARA, Hiorokazu
公開者: 大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記: Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ): オオサカ ダイガク セツゴウ カガク ケンキュウジョ
作成日付: 2008-07
NII資源タイプ: Departmental Bulletin Paper
ローカル資源タイプ: 紀要論文 Departmental Bulletin Paper
dcmi資源タイプ: text
URI: http://hdl.handle.net/11094/6123
ISSN: 03874508
NCID: AA00867058
掲載誌名: Transactions of JWRI
巻: 37
号: 1
開始ページ: 33
終了ページ: 37
刊行年月: 2008-07
言語: eng
著者版フラグ: publisher
出現コレクション:紀要論文 Departmental Bulletin Paper

 

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