先端半導体デバイス対応欠陥レビュー走査型電子顕微鏡の画像処理技術に関する研究

原田, 実

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30583_Abstract pdf なし 195 KB 369 2019.06.24  
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タイトル
先端半導体デバイス対応欠陥レビュー走査型電子顕微鏡の画像処理技術に関する研究
センタンハンドウタイデバイスタイオウケッカンレビューソウサガタデンシケンビキョウノガゾウショリギジュツニカンスルケンキュウ
著者
NRID
1000010218654 1000010218654
著者名
原田, 実 ; ハラダ, ミノル
内容
Minoru Harada, Yohei Minekawa, Fumihiko Fukunaga, and Koji Nakamae, "In-die overlay metrology method using SEM images," Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 17(4), 044004 (2018). https://doi.org/10.1117/1.JMM.17.4.044004.
学位名
博士（情報科学）
学位授与年月日
2019-03-25
学位授与機関
大阪大学
研究科
情報科学
専攻
情報システム工学
学位授与番号
甲第20297号
学位記番号
30583
言語
日本語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/72586
DOI
https://doi.org/10.18910/72586
関連情報 (hasPart)
URI
https://doi.org/10.1117/1.JMM.17.4.044004
アクセス権
open access
権利情報
Copyright(2018) Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers. One print or electronic copy may be made for personal use only. Systematic reproduction and distribution, duplication of any material in this paper for a fee or for commercial purposes, or modification of the content of the paper are prohibited.
出版タイプ
Version of Record
カテゴリ
博士論文 本文あり / 情報科学研究科 / 2018年度
博士論文 / 情報科学研究科 / 2018年度