固定URL: https://doi.org/10.18910/96045

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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
33964_Abstract	pdf	なし	319 KB	50	2024.06.17
33964_Dissertation	pdf	なし	9.17 MB	147	2024.06.17

論文情報

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タイトル	微小間隙における高精度プラズマエッチングとそのX線結晶光学素子への応用
	ビショウカンゲキニオケルコウセイドプラズマエッチングトソノエックスセンケッショウコウガクソシヘノオウヨウ
著者	著者名 松村, 正太郎 ; マツムラ, ショウタロウ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2024-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	物理学系
学位授与番号	14401甲第23267号
学位記番号	33964
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/96045
DOI	https://doi.org/10.18910/96045
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2023年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2023年度

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