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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
34673_Abstract	pdf	なし	166 KB	47	2025.06.10
34673_Dissertation	pdf	なし	28.2 MB	156	2025.06.10

論文情報

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タイトル	Study on development process of resist materials for extreme ultraviolet lithography using quartz crystal microbalance method
	極端紫外光リソグラフィに向けた水晶振動子マイクロバランス法によるレジスト材料の現像プロセスに関する研究
	キョクタンシガイコウリソグラフィニムケタスイショウシンドウシマイクロバランスホウニヨルレジストザイリョウノゲンゾウプロセスニカンスルケンキュウ
著者	著者名 伊藤, 裕子 ; イトウ, ユウコ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2025-01-21
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
学位授与番号	乙第10212号
学位記番号	34673
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/101493
DOI	https://doi.org/10.18910/101493
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2024年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2024年度

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