Characterization of Titanium Compound Films Deposited by Plasma-CVD

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
jwri15_02_381	pdf	125 KB	32

タイトル	Characterization of Titanium Compound Films Deposited by Plasma-CVD
著者	IWAMOTO, Nobuya IWAMOTO, Nobuya
	MURAKAMI, Yoshihiko MURAKAMI, Yoshihiko
	MAKINO, Yukio MAKINO, Yukio
公開者	大阪大学溶接工学研究所
公開者の別表記	Welding Research Institute of Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクヨウセツコウガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	15
号	2
開始ページ	381
終了ページ	382
刊行年月	1986-12
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/10424
関連情報 (isversionof)	http://ci.nii.ac.jp/naid/110006486703
権利情報	本文データはCiNiiから複製したものである
言語	英語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.15(2) P.381-P.382
DC.title	Characterization of Titanium Compound Films Deposited by Plasma-CVD
DC.creator	IWAMOTO, Nobuya
	MURAKAMI, Yoshihiko
	MAKINO, Yukio
DC.publisher	大阪大学溶接工学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1986-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/10424
DC.rights	本文データはCiNiiから複製したものである
citation_title	Characterization of Titanium Compound Films Deposited by Plasma-CVD
citation_author	IWAMOTO, Nobuya
	MURAKAMI, Yoshihiko
	MAKINO, Yukio
citation_publisher	大阪大学溶接工学研究所
citation_language	英語
citation_date	1986-12
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	15
citation_issue	2
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citation_issn	03874508
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/10424