Characterization of Titanium Compound Films Deposited by Plasma-CVD

Iwamoto, Nobuya; Murakami, Yoshihiko; Makino, Yukio

Transactions of JWRI, 1986, 15(2), 381-382

アクセス数:150件（2025-07-01 10:28 集計）

固定URL: https://doi.org/10.18910/10424

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
jwri15_02_381	pdf	なし	125 KB	80	2012.09.22

タイトル	Characterization of Titanium Compound Films Deposited by Plasma-CVD
著者	NRID 1000040028973 1000040028973 著者名 Iwamoto, Nobuya
	著者名 Murakami, Yoshihiko
	NRID 1000020089890 1000020089890 著者名 Makino, Yukio
出版者	大阪大学溶接工学研究所
	オオサカダイガクヨウセツコウガクケンキュウジョ
	Welding Research Institute of Osaka University
収録物名	Transactions of JWRI
巻(号)	15(2)
ページ	381-382
刊行年月	1986-12
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/10424
DOI	https://doi.org/10.18910/10424
PISSN	03874508
NCID	AA00867058
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	Transactions of JWRI / Vol.15 No.2 (1986-12)

資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI. 1986, 15(2), p. 381-382
DC.title	Characterization of Titanium Compound Films Deposited by Plasma-CVD
DC.creator	Iwamoto, Nobuya
	Murakami, Yoshihiko
	Makino, Yukio
DC.publisher	大阪大学溶接工学研究所
	オオサカダイガクヨウセツコウガクケンキュウジョ
	Welding Research Institute of Osaka University
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	英語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1986-12
DC.identifier	10.18910/10424
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citation_title	Characterization of Titanium Compound Films Deposited by Plasma-CVD
citation_author	Iwamoto, Nobuya
	Murakami, Yoshihiko
	Makino, Yukio
citation_publisher	大阪大学溶接工学研究所
citation_language	英語
citation_date	1986-12
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	15
citation_issue	2
citation_firstpage	381
citation_lastpage	382
citation_public_url	https://hdl.handle.net/11094/10424
citation_doi_detail	10.18910/10424
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