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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
jwri20_02_203	pdf	なし	535 KB	83	2012.09.22

論文情報

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タイトル	Ion and Neutral Particle Diagnostics in Reactive ECR Plasma(Physics, Process, Instruments & Measurements)
著者	著者名 Chen, Wei
	著者名 Yoshinaga, Jun
	NRID 1000080236108 1000080236108 researchmap permalink y_setsuhara y_setsuhara Scopus Author ID 7004203671 7004203671 著者名 Setsuhara, Yuichi
	NRID 1000040029286 1000040029286 著者名 Miyake, Shoji
出版者	大阪大学溶接工学研究所
	オオサカ ダイガク ヨウセツ コウガク ケンキュウジョ
	Welding Research Institute Osaka University
収録物名	Transactions of JWRI
巻(号)	20(2)
ページ	203-209
刊行年月	1991-12
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/10653
DOI	https://doi.org/10.18910/10653
PISSN	03874508
NCID	AA00867058
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
	Transactions of JWRI / Vol.20 No.2 (1991-12)

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