MOSFETへ一軸性応力をかける方法

谷口, 研二; 浜口, 智尋; 正木, 和夫

大阪大学低温センターだより, 1988, 62, 22-23

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固定URL: https://hdl.handle.net/11094/10728

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
ltc062-22	pdf	なし	96.4 KB	136	2012.09.22

タイトル	MOSFETへ一軸性応力をかける方法
タイトル	MOSFET ヘイチジクセイオウリョクヲカケルホウホウ
著者	NRID 1000020192180 1000020192180 著者名谷口, 研二 ; タニグチ, ケンジ
	NRID 1000040029004 1000040029004 著者名浜口, 智尋 ; ハマグチ, チヒロ
	著者名正木, 和夫 ; マサキ, カズオ
内容	実験メモ
出版者	大阪大学低温センター
出版者	オオサカダイガクテイオンセンター
収録物名	大阪大学低温センターだより
巻(号)	62
ページ	22-23
刊行年月	1988-04
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/10728
PISSN	03874419
NCID	AN00030246
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	大阪大学低温センターだより / No.62 (1988-04)

資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより. 1988, 62, p. 22-23
DC.title	MOSFETへ一軸性応力をかける方法
DC.title	MOSFET ヘイチジクセイオウリョクヲカケルホウホウ
DC.creator	谷口, 研二
	タニグチ, ケンジ
	浜口, 智尋
	ハマグチ, チヒロ
	正木, 和夫
	マサキ, カズオ
DC.publisher	大阪大学低温センター
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1988-04
DC.description	実験メモ
DC.format	10728
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