MOSFETへ一軸性応力をかける方法

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
ltc062-22	pdf	96.4 KB	101	2012.09.22

タイトル	MOSFETへ一軸性応力をかける方法
タイトル	MOSFET ヘイチジクセイオウリョクヲカケルホウホウ
著者	NRID 1000020192180 1000020192180 著者名谷口, 研二タニグチ, ケンジ
	NRID 1000040029004 1000040029004 著者名浜口, 智尋ハマグチ, チヒロ
	著者名正木, 和夫マサキ, カズオ
内容	実験メモ
出版者	大阪大学低温センター
出版者	オオサカダイガクテイオンセンター
収録物名	大阪大学低温センターだより
巻	62
開始ページ	22
終了ページ	23
刊行年月	1988-04
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/10728
ISSN	03874419
NCID	AN00030246
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	大阪大学低温センターだより / No.62 (1988-04)

資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより.62 p.22-p.23
DC.title	MOSFETへ一軸性応力をかける方法
DC.title	MOSFET ヘイチジクセイオウリョクヲカケルホウホウ
DC.creator	谷口, 研二
	タニグチ, ケンジ
	浜口, 智尋
	ハマグチ, チヒロ
	正木, 和夫
	マサキ, カズオ
DC.publisher	大阪大学低温センター
DC.publisher	オオサカダイガクテイオンセンター
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1988-04
DC.description	実験メモ
DC.format	application/pdf
citation_title	MOSFETへ一軸性応力をかける方法
citation_title	MOSFET ヘイチジクセイオウリョクヲカケルホウホウ
citation_author	谷口, 研二
	タニグチ, ケンジ
	浜口, 智尋
	ハマグチ, チヒロ
	正木, 和夫
	マサキ, カズオ
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citation_date	1988-04
citation_journal_title	大阪大学低温センターだより
citation_volume	62
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citation_lastpage	23
citation_issn	03874419
citation_public_url	https://hdl.handle.net/11094/10728