半導体基板の微傾斜角を簡便に調べるには

このアイテムのアクセス数:139件（2023-12-03 13:35 集計）

このアイテムへのリンクには次のURLをご利用ください: https://hdl.handle.net/11094/10839

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
ltc070-15	pdf	なし	87.9 KB	251	2012.09.22

タイトル	半導体基板の微傾斜角を簡便に調べるには
タイトル	ハンドウタイキバンノビケイシャカクヲカンベンニシラベルニハ
著者	NRID 1000050189528 1000050189528 researchmap permalink Shigehiko_Hasegawa Shigehiko_Hasegawa Scopus Author ID 35419713200 35419713200 著者名長谷川, 繁彦 ; ハセガワ, シゲヒコ
内容	実験メモ
出版者	大阪大学低温センター
出版者	オオサカダイガクテイオンセンター
収録物名	大阪大学低温センターだより
巻(号)	70
ページ	15-16
刊行年月	1990-04
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/10839
PISSN	03874419
NCID	AN00030246
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	大阪大学低温センターだより / No.70 (1990-04)

資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより. 1990, 70, p. 15-16
DC.title	半導体基板の微傾斜角を簡便に調べるには
DC.title	ハンドウタイキバンノビケイシャカクヲカンベンニシラベルニハ
DC.creator	長谷川, 繁彦
DC.creator	ハセガワ, シゲヒコ
DC.publisher	大阪大学低温センター
DC.publisher	オオサカダイガクテイオンセンター
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1990-04
DC.description	実験メモ
DC.format	application/pdf
citation_title	半導体基板の微傾斜角を簡便に調べるには
citation_title	ハンドウタイキバンノビケイシャカクヲカンベンニシラベルニハ
citation_author	長谷川, 繁彦
citation_author	ハセガワ, シゲヒコ
citation_publisher	大阪大学低温センター
citation_publisher	オオサカダイガクテイオンセンター
citation_language	日本語
citation_date	1990-04
citation_journal_title	大阪大学低温センターだより
citation_volume	70
citation_firstpage	15
citation_lastpage	16
citation_public_url	https://hdl.handle.net/11094/10839