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2021-01-22
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09268_要旨
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25
要旨/Abstract
09268_論文
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10.0 MB
185
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
イオンビームプロセス技術の研究
タイトル (ヨミ)
イオンビーム プロセス ギジュツ ノ ケンキュウ
著者
金山, 敏彦
金山, 敏彦
著者の別表記
Kanayama, Toshihico
著者 (ヨミ)
カナヤマ, トシヒコ
学位名
工学博士
学位授与年月日
1990-06-22
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第05063号
学位記番号
09268
URL
http://hdl.handle.net/11094/1146
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 1990年度
博士論文 / その他 / 1990年度
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著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
イオンビームプロセス技術の研究
DC.creator
金山, 敏彦
DC.creator
Kanayama, Toshihico
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/1146
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1990-06-22
citation_title
イオンビームプロセス技術の研究
citation_author
金山, 敏彦
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/1146
citation_date
1990-06-22