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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
09268_Abstract	pdf	なし	171 KB	56	2014.08.04	要旨/Abstract
09268_Dissertation	pdf	なし	10.0 MB	416	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	イオンビームプロセス技術の研究
	イオンビーム プロセス ギジュツ ノ ケンキュウ
著者	NRID 1000070356799 1000070356799 著者名 金山, 敏彦 ; カナヤマ, トシヒコ ; Kanayama, Toshihico
学位名	工学博士
学位授与年月日	1990-06-22
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第05063号
学位記番号	09268
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1146
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 1990年度
	博士論文 / その他 / 1990年度

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