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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
jwri29_01_015	pdf	なし	654 KB	77	2012.09.22

論文情報

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タイトル	Low Temperature Synthesis of SrTiO₃ Films by Mirror Confinement Type ECR Plasma Sputtering(Physics, Processes, Instruments & Measurements)
著者	著者名 Baba, So
	著者名 Ueno, Toshiyuki
	NRID 1000040029286 1000040029286 著者名 Miyake, Shoji
出版者	大阪大学接合科学研究所
	オオサカ ダイガク セツゴウ カガク ケンキュウジョ
	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
収録物名	Transactions of JWRI
巻(号)	29(1)
ページ	15-20
刊行年月	2000-07
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/12210
DOI	https://doi.org/10.18910/12210
PISSN	03874508
NCID	AA00867058
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
	Transactions of JWRI / Vol.29 No.1 (2000-07)

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