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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
jwri29_01_015	pdf	654 KB	46	2012.09.22

論文情報

タイトル	Low Temperature Synthesis of SrTiO₃ Films by Mirror Confinement Type ECR Plasma Sputtering(Physics, Processes, Instruments & Measurements)
著者	著者名 Baba, So
	著者名 Ueno, Toshiyuki
	NRID 1000040029286 1000040029286 著者名 Miyake, Shoji
出版者	大阪大学接合科学研究所
	オオサカ ダイガク セツゴウ カガク ケンキュウジョ
	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
収録物名	Transactions of JWRI
巻	29
号	1
開始ページ	15
終了ページ	20
刊行年月	2000-07
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/12210
DOI	https://doi.org/10.18910/12210
PISSN	03874508
NCID	AA00867058
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
	Transactions of JWRI / Vol.29 No.1 (2000-07)

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