Low Temperature Synthesis of SrTiO_3 Films by Mirror Confinement Type ECR Plasma Sputtering(Physics, Processes, Instruments & Measurements)

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
jwri29_01_015	pdf	654 KB	29

タイトル	Low Temperature Synthesis of SrTiO_3 Films by Mirror Confinement Type ECR Plasma Sputtering(Physics, Processes, Instruments & Measurements)
著者	BABA, So BABA, So
	UENO, Toshiyuki UENO, Toshiyuki
	MIYAKE, Shoji MIYAKE, Shoji
公開者	大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクセツゴウカガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	29
号	1
開始ページ	15
終了ページ	20
刊行年月	2000-07
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/12210
関連情報 (isversionof)	http://ci.nii.ac.jp/naid/110006486064
権利情報	本文データはCiNiiから複製したものである
言語	英語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.29(1) P.15-P.20
DC.title	Low Temperature Synthesis of SrTiO_3 Films by Mirror Confinement Type ECR Plasma Sputtering(Physics, Processes, Instruments & Measurements)
DC.creator	BABA, So
	UENO, Toshiyuki
	MIYAKE, Shoji
DC.publisher	大阪大学接合科学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2000-07
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/12210
DC.rights	本文データはCiNiiから複製したものである
citation_title	Low Temperature Synthesis of SrTiO_3 Films by Mirror Confinement Type ECR Plasma Sputtering(Physics, Processes, Instruments & Measurements)
citation_author	BABA, So
	UENO, Toshiyuki
	MIYAKE, Shoji
citation_publisher	大阪大学接合科学研究所
citation_language	英語
citation_date	2000-07
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	29
citation_issue	1
citation_firstpage	15
citation_lastpage	20
citation_issn	03874508
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/12210