スパッタリング法による a-Si 系薄膜・超格子薄膜の構造と光・電気特性に関する研究

須崎, 嘉文

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固定URL: https://doi.org/10.11501/3081520

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11692_Abstract pdf なし 144 KB 648 2014.08.04 要旨/Abstract  
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