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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
11190_Abstract	pdf	なし	131 KB	49	2014.08.04	要旨/Abstract
11190_Dissertation	pdf	なし	6.19 MB	75	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	シンクロトロン放射光照射によるAlの熱CVD反応制御に関する研究
	シンクロトロン ホウシャコウ ショウシャ ニ ヨル AI ノ ネツ CVD ハンノウ セイギョ
著者	著者名 上杉, 文彦 ; ウエスギ, フミヒコ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1994-03-16
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第06312号
学位記番号	11190
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1245
DOI	https://doi.org/10.11501/3075301
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 1993年度
	博士論文 / その他 / 1993年度

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