シンクロトロン放射光照射によるAlの熱CVD反応制御に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
11190_要旨	pdf	131 KB	30	要旨/Abstract
11190_論文	pdf	6.19 MB	46	論文/Dissertation

タイトル	シンクロトロン放射光照射によるAlの熱CVD反応制御に関する研究
タイトル (ヨミ)	シンクロトロンホウシャコウショウシャニヨル AI ノネツ CVD ハンノウセイギョ
著者	上杉, 文彦上杉, 文彦
著者 (ヨミ)	ウエスギ, フミヒコ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1994-03-16
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第06312号
学位記番号	11190
URL	http://hdl.handle.net/11094/1245
言語	日本語
DOI	info:doi/10.11501/3075301
カテゴリ	博士論文本文あり / その他 / 1993年度
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1993年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	シンクロトロン放射光照射によるAlの熱CVD反応制御に関する研究
DC.creator	上杉, 文彦
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DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/1245
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1994-03-16
DC.identifier	info:doi/10.11501/3075301
citation_title	シンクロトロン放射光照射によるAlの熱CVD反応制御に関する研究
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citation_date	1994-03-16
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