ようこそ ゲスト さん
雑誌ブラウズ
雑誌 全て
大阪大学 刊行物
ランキング
アクセスランキング
ダウンロードランキング
博士論文のみをさがす
このアイテムのアクセス数:
43
件
(
2021-01-23
04:04 集計
)
このアイテムへのリンクには次のURLをご利用ください:
https://doi.org/10.11501/3075301
このアイテムへのリンクには次のURLをご利用ください:http://hdl.handle.net/11094/1245
閲覧可能ファイル
ファイル
フォーマット
サイズ
閲覧回数
説明
11190_要旨
pdf
131 KB
30
要旨/Abstract
11190_論文
pdf
6.19 MB
46
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
シンクロトロン放射光照射によるAlの熱CVD反応制御に関する研究
タイトル (ヨミ)
シンクロトロン ホウシャコウ ショウシャ ニ ヨル AI ノ ネツ CVD ハンノウ セイギョ
著者
上杉, 文彦
上杉, 文彦
著者 (ヨミ)
ウエスギ, フミヒコ
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
1994-03-16
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第06312号
学位記番号
11190
URL
http://hdl.handle.net/11094/1245
言語
日本語
DOI
info:doi/10.11501/3075301
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 1993年度
博士論文 / その他 / 1993年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
シンクロトロン放射光照射によるAlの熱CVD反応制御に関する研究
DC.creator
上杉, 文彦
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/1245
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1994-03-16
DC.identifier
info:doi/10.11501/3075301
citation_title
シンクロトロン放射光照射によるAlの熱CVD反応制御に関する研究
citation_author
上杉, 文彦
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/1245
citation_date
1994-03-16
citation_doi
info:doi/10.11501/3075301