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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
jwri30_01_041	pdf	なし	554 KB	96	2012.09.22

論文情報

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タイトル	Synthesis of hafnium oxide thin films with ion beam assisted deposition(Physics, Processes, Instruments & Measurements)
著者	著者名 Mori, Takanori
	著者名 Shimizu, Ippei
	著者名 Manory, Rafael R.
	NRID 1000040029286 1000040029286 著者名 Miyake, Shoji
出版者	大阪大学接合科学研究所
	オオサカ ダイガク セツゴウ カガク ケンキュウジョ
	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
収録物名	Transactions of JWRI
巻(号)	30(1)
ページ	41-45
刊行年月	2001-07
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/12457
DOI	https://doi.org/10.18910/12457
PISSN	03874508
NCID	AA00867058
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
	Transactions of JWRI / Vol.30 No.1 (2001-07)

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