Effect of Magnetic Mirror Plasma Confinement on Microwave Electron Cyclotron Resonance/D.C. Discharge for Low Pressure Sputtering(Physics, Process, Instrument & Measurements)

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jwri24_02_011	pdf	505 KB	33

タイトル	Effect of Magnetic Mirror Plasma Confinement on Microwave Electron Cyclotron Resonance/D.C. Discharge for Low Pressure Sputtering(Physics, Process, Instrument & Measurements)
著者	MISINA, Martin MISINA, Martin
	SETSUHARA, Yuichi SETSUHARA, Yuichi
	MIYAKE, Shoji MIYAKE, Shoji
公開者	大阪大学溶接工学研究所
公開者の別表記	Welding Research Institute Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクヨウセツコウガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	24
号	2
開始ページ	11
終了ページ	16
刊行年月	1995-12
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/12529
関連情報 (isversionof)	http://ci.nii.ac.jp/naid/110006485919
権利情報	本文データはCiNiiから複製したものである
言語	英語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.24(2) P.11-P.16
DC.title	Effect of Magnetic Mirror Plasma Confinement on Microwave Electron Cyclotron Resonance/D.C. Discharge for Low Pressure Sputtering(Physics, Process, Instrument & Measurements)
DC.creator	MISINA, Martin
	SETSUHARA, Yuichi
	MIYAKE, Shoji
DC.publisher	大阪大学溶接工学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1995-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/12529
DC.rights	本文データはCiNiiから複製したものである
citation_title	Effect of Magnetic Mirror Plasma Confinement on Microwave Electron Cyclotron Resonance/D.C. Discharge for Low Pressure Sputtering(Physics, Process, Instrument & Measurements)
citation_author	MISINA, Martin
	SETSUHARA, Yuichi
	MIYAKE, Shoji
citation_publisher	大阪大学溶接工学研究所
citation_language	英語
citation_date	1995-12
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	24
citation_issue	2
citation_firstpage	11
citation_lastpage	16
citation_issn	03874508
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/12529