Effect of Magnetic Mirror Plasma Confinement on Microwave Electron Cyclotron Resonance/D.C. Discharge for Low Pressure Sputtering(Physics, Process, Instrument & Measurements)

Misina, Martin; Setsuhara, Yuichi; Miyake, Shoji

Transactions of JWRI, 1995, 24(2), 11-16

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タイトル
Effect of Magnetic Mirror Plasma Confinement on Microwave Electron Cyclotron Resonance/D.C. Discharge for Low Pressure Sputtering(Physics, Process, Instrument & Measurements)
著者
著者名
Misina, Martin
NRID
1000080236108 1000080236108
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Scopus Author ID
7004203671 7004203671
著者名
Setsuhara, Yuichi
NRID
1000040029286 1000040029286
著者名
Miyake, Shoji
出版者
大阪大学溶接工学研究所
オオサカ ダイガク ヨウセツ コウガク ケンキュウジョ
Welding Research Institute Osaka University
収録物名
Transactions of JWRI
巻(号)
24(2)
ページ
11-16
刊行年月
1995-12
言語
英語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/12529
DOI
https://doi.org/10.18910/12529
PISSN
03874508
NCID
AA00867058
アクセス権
open access
出版タイプ
Version of Record
カテゴリ
紀要論文 Departmental Bulletin Paper
Transactions of JWRI / Vol.24 No.2 (1995-12)