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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
13162_Abstract	pdf	なし	108 KB	121	2014.06.09	要旨/Abstract
13162_Dissertation	pdf	なし	4.52 MB	58	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	酸化物薄膜の作成ならびにそのイオンビーム分析に関する研究
	サンカブツ ハクマク ノ サクセイ ナラビニ ソノ イオン ビーム ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
著者	NRID 1000090324821 1000090324821 著者名 本多, 信一 ; ホンダ, シンイチ ; Honda, Shinichi
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1997-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	電子工学
学位授与番号	甲第05976号
学位記番号	13162
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1289
DOI	https://doi.org/10.11501/3129061
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 1996年度
	博士論文 / 工学研究科 / 1996年度

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