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2021-02-26
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https://doi.org/10.11501/3129061
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13162_要旨
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92
要旨/Abstract
13162_論文
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4.52 MB
34
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
酸化物薄膜の作成ならびにそのイオンビーム分析に関する研究
タイトル (ヨミ)
サンカブツ ハクマク ノ サクセイ ナラビニ ソノ イオン ビーム ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
著者
本多, 信一
本多, 信一
著者の別表記
Honda, Shinichi
著者 (ヨミ)
ホンダ, シンイチ
著者所属研究科
工学
専攻
電子工学
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
1997-03-25
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第05976号
学位記番号
13162
URL
http://hdl.handle.net/11094/1289
言語
日本語
DOI
info:doi/10.11501/3129061
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 1996年度
博士論文 / 工学研究科 / 1996年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
酸化物薄膜の作成ならびにそのイオンビーム分析に関する研究
DC.creator
本多, 信一
DC.creator
Honda, Shinichi
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/1289
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1997-03-25
DC.identifier
info:doi/10.11501/3129061
citation_title
酸化物薄膜の作成ならびにそのイオンビーム分析に関する研究
citation_author
本多, 信一
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/1289
citation_date
1997-03-25
citation_doi
info:doi/10.11501/3129061