酸化物薄膜の作成ならびにそのイオンビーム分析に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
13162_要旨	pdf	108 KB	100	要旨/Abstract
13162_論文	pdf	4.52 MB	40	論文/Dissertation

タイトル	酸化物薄膜の作成ならびにそのイオンビーム分析に関する研究
タイトル (ヨミ)	サンカブツハクマクノサクセイナラビニソノイオンビームブンセキニカンスルケンキュウ
著者	本多, 信一本多, 信一
著者の別表記	Honda, Shinichi
著者 (ヨミ)	ホンダ, シンイチ
著者所属研究科	工学
専攻	電子工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1997-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第05976号
学位記番号	13162
URL	http://hdl.handle.net/11094/1289
言語	日本語
DOI	info:doi/10.11501/3129061
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 1996年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 1996年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	酸化物薄膜の作成ならびにそのイオンビーム分析に関する研究
DC.creator	本多, 信一
DC.creator	Honda, Shinichi
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/1289
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1997-03-25
DC.identifier	info:doi/10.11501/3129061
citation_title	酸化物薄膜の作成ならびにそのイオンビーム分析に関する研究
citation_author	本多, 信一
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citation_date	1997-03-25
citation_doi	info:doi/10.11501/3129061