化合物半導体におけるプロセス誘起欠陥の研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
09621_要旨	pdf	194 KB	67	要旨/Abstract
09621_論文	pdf	5.03 MB	130	論文/Dissertation

タイトル	化合物半導体におけるプロセス誘起欠陥の研究
タイトル (ヨミ)	カゴウブツハンドウタイニオケルプロセスユウキケッカンノケンキュウ
著者	弓場, 愛彦弓場, 愛彦
著者の別表記	Yuba, Yoshihiko
著者 (ヨミ)	ユバ, ヨシヒコ
学位名	工学博士
学位授与年月日	1991-03-14
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第05390号
学位記番号	09621
URL	http://hdl.handle.net/11094/1290
言語	日本語
DOI	info:doi/10.11501/3054505

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	化合物半導体におけるプロセス誘起欠陥の研究
DC.creator	弓場, 愛彦
DC.creator	Yuba, Yoshihiko
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/1290
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1991-03-14
DC.identifier	info:doi/10.11501/3054505
citation_title	化合物半導体におけるプロセス誘起欠陥の研究
citation_author	弓場, 愛彦
citation_language	日本語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/1290
citation_date	1991-03-14
citation_doi	info:doi/10.11501/3054505