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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
09621_Abstract	pdf	なし	194 KB	135	2014.08.04	要旨/Abstract
09621_Dissertation	pdf	なし	5.03 MB	99	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	化合物半導体におけるプロセス誘起欠陥の研究
	カゴウブツ ハンドウタイ ニ オケル プロセス ユウキ ケッカン ノ ケンキュウ
著者	NRID 1000030144447 1000030144447 著者名 弓場, 愛彦 ; ユバ, ヨシヒコ ; Yuba, Yoshihiko
学位名	工学博士
学位授与年月日	1991-03-14
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第05390号
学位記番号	09621
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1290
DOI	https://doi.org/10.11501/3054505
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 1990年度
	博士論文 / その他 / 1990年度

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