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(
2021-04-21
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https://doi.org/10.11501/3054505
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09621_要旨
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80
要旨/Abstract
09621_論文
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5.03 MB
81
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
化合物半導体におけるプロセス誘起欠陥の研究
タイトル (ヨミ)
カゴウブツ ハンドウタイ ニ オケル プロセス ユウキ ケッカン ノ ケンキュウ
著者
弓場, 愛彦
弓場, 愛彦
著者の別表記
Yuba, Yoshihiko
著者 (ヨミ)
ユバ, ヨシヒコ
学位名
工学博士
学位授与年月日
1991-03-14
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第05390号
学位記番号
09621
URL
http://hdl.handle.net/11094/1290
言語
日本語
DOI
info:doi/10.11501/3054505
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 1990年度
博士論文 / その他 / 1990年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
化合物半導体におけるプロセス誘起欠陥の研究
DC.creator
弓場, 愛彦
DC.creator
Yuba, Yoshihiko
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/1290
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1991-03-14
DC.identifier
info:doi/10.11501/3054505
citation_title
化合物半導体におけるプロセス誘起欠陥の研究
citation_author
弓場, 愛彦
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/1290
citation_date
1991-03-14
citation_doi
info:doi/10.11501/3054505