極高真空の発生および計測の開発に関する研究

渡部, 秀

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固定URL: https://hdl.handle.net/11094/1317

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
17347_Abstract	pdf	なし	127 KB	196	2014.08.04	要旨/Abstract
17347_Dissertation	pdf	なし	4.49 MB	164	2012.09.22	論文/Dissertation

タイトル	極高真空の発生および計測の開発に関する研究
タイトル	ゴクコウシンクウノハッセイオヨビケイソクノカイハツニカンスルケンキュウ
著者	著者名渡部, 秀 ; ワタベ, シュウ ; Watabe, Syuu
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2002-11-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
学位授与番号	乙第08553号
学位記番号	17347
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1317
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2002年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2002年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 2002, 博士論文
DC.title	極高真空の発生および計測の開発に関する研究
DC.title	ゴクコウシンクウノハッセイオヨビケイソクノカイハツニカンスルケンキュウ
DC.creator	渡部, 秀
	ワタベ, シュウ
	Watabe, Syuu
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2002-11-25
DC.format	1317
citation_title	極高真空の発生および計測の開発に関する研究
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citation_date	2002-11-25