極高真空の発生および計測の開発に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
17347_要旨	pdf	127 KB	80	要旨/Abstract
17347_論文	pdf	4.49 MB	89	論文/Dissertation

タイトル	極高真空の発生および計測の開発に関する研究
タイトル (ヨミ)	ゴクコウシンクウノハッセイオヨビケイソクノカイハツニカンスルケンキュウ
著者	渡部, 秀渡部, 秀
著者の別表記	Watabe, Syuu
著者 (ヨミ)	ワタベ, シュウ
著者所属研究科	工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2002-11-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第08553号
学位記番号	17347
URL	http://hdl.handle.net/11094/1317
言語	日本語
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2002年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2002年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	極高真空の発生および計測の開発に関する研究
DC.creator	渡部, 秀
DC.creator	Watabe, Syuu
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DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/1317
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2002-11-25
citation_title	極高真空の発生および計測の開発に関する研究
citation_author	渡部, 秀
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/1317
citation_date	2002-11-25