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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
03368_Abstract	pdf	なし	174 KB	115	2014.08.04	要旨/Abstract
03368_Dissertation	pdf	なし	4.04 MB	65	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	イオン注入された不純物の分布に関する研究
	イオン チュウニュウ サレタ フジュンブツ ノ ブンプ ニ カンスル ケンキュウ
著者	著者名 岩木, 正哉 ; イワキ, マサヤ
学位名	工学博士
学位授与年月日	1975-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	基礎工学
専攻	物理系
学位授与番号	甲第01834号
学位記番号	03368
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1323
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 基礎工学研究科 / 1974年度
	博士論文 / 基礎工学研究科 / 1974年度

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