イオン注入された不純物の分布に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
03368_要旨	pdf	174 KB	68	要旨/Abstract
03368_論文	pdf	4.04 MB	39	論文/Dissertation

タイトル	イオン注入された不純物の分布に関する研究
タイトル (ヨミ)	イオンチュウニュウサレタフジュンブツノブンプニカンスルケンキュウ
著者	岩木, 正哉岩木, 正哉
著者 (ヨミ)	イワキ, マサヤ
著者所属研究科	基礎工学
専攻	物理系
学位名	工学博士
学位授与年月日	1975-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第01834号
学位記番号	03368
URL	http://hdl.handle.net/11094/1323
言語	日本語

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	イオン注入された不純物の分布に関する研究
DC.creator	岩木, 正哉
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/1323
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1975-03-25
citation_title	イオン注入された不純物の分布に関する研究
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/1323
citation_date	1975-03-25