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2021-04-16
09:09 集計
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03368_要旨
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82
要旨/Abstract
03368_論文
pdf
4.04 MB
40
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
イオン注入された不純物の分布に関する研究
タイトル (ヨミ)
イオン チュウニュウ サレタ フジュンブツ ノ ブンプ ニ カンスル ケンキュウ
著者
岩木, 正哉
岩木, 正哉
著者 (ヨミ)
イワキ, マサヤ
著者所属研究科
基礎工学
専攻
物理系
学位名
工学博士
学位授与年月日
1975-03-25
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第01834号
学位記番号
03368
URL
http://hdl.handle.net/11094/1323
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / 基礎工学研究科 / 1974年度
博士論文 / 基礎工学研究科 / 1974年度
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著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
イオン注入された不純物の分布に関する研究
DC.creator
岩木, 正哉
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/1323
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1975-03-25
citation_title
イオン注入された不純物の分布に関する研究
citation_author
岩木, 正哉
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/1323
citation_date
1975-03-25