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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
05306_Abstract	pdf	なし	135 KB	169	2014.08.04	要旨/Abstract
05306_Dissertation	pdf	なし	11.4 MB	1,534	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	反応性イオンビームエッチングによる回折格子の作製に関する研究
	ハンノウセイ イオンビーム エッチング ニヨル カイセツ コウシ ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者	NRID 1000000312306 1000000312306 著者名 松井, 真二 ; マツイ, シンジ ; Matui, Shinji
学位名	工学博士
学位授与年月日	1981-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	基礎工学
専攻	物理系
学位授与番号	甲第02694号
学位記番号	05306
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1338
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 基礎工学研究科 / 1980年度
	博士論文 / 基礎工学研究科 / 1980年度

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