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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
06216_Abstract	pdf	なし	113 KB	59	2014.06.19	要旨/Abstract
06216_Dissertation	pdf	なし	5.27 MB	333	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	結合型原子プローブ電界イオン顕微鏡の開発と極微小領域分析に関する研究
	ケツゴウ ガタ ゲンシ プローブ デンカイ イオン ケンビキョウ ノ カイハツ ト ゴクビショウ リョウイキ ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
著者	NRID 1000030182091 1000030182091 著者名 村上, 健司 ; ムラカミ, ケンジ
学位名	工学博士
学位授与年月日	1983-11-26
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	電子工学
学位授与番号	甲第02996号
学位記番号	06216
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1355
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 1982年度
	博士論文 / 工学研究科 / 1983年度

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