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233
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(
2022-06-30
15:32 集計
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06216_要旨
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40
要旨/Abstract
06216_論文
pdf
5.27 MB
308
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
結合型原子プローブ電界イオン顕微鏡の開発と極微小領域分析に関する研究
タイトル (ヨミ)
ケツゴウ ガタ ゲンシ プローブ デンカイ イオン ケンビキョウ ノ カイハツ ト ゴクビショウ リョウイキ ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
著者
村上, 健司
村上, 健司
著者 (ヨミ)
ムラカミ, ケンジ
著者所属研究科
工学
専攻
電子工学
学位名
工学博士
学位授与年月日
1983-11-26
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第02996号
学位記番号
06216
URL
http://hdl.handle.net/11094/1355
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 1982年度
博士論文 / 工学研究科 / 1983年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
結合型原子プローブ電界イオン顕微鏡の開発と極微小領域分析に関する研究
DC.creator
村上, 健司
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/1355
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1983-11-26
citation_title
結合型原子プローブ電界イオン顕微鏡の開発と極微小領域分析に関する研究
citation_author
村上, 健司
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/1355
citation_date
1983-11-26