結合型原子プローブ電界イオン顕微鏡の開発と極微小領域分析に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
06216_要旨	pdf	113 KB	40	要旨/Abstract
06216_論文	pdf	5.27 MB	308	論文/Dissertation

タイトル	結合型原子プローブ電界イオン顕微鏡の開発と極微小領域分析に関する研究
タイトル (ヨミ)	ケツゴウガタゲンシプローブデンカイイオンケンビキョウノカイハツトゴクビショウリョウイキブンセキニカンスルケンキュウ
著者	村上, 健司村上, 健司
著者 (ヨミ)	ムラカミ, ケンジ
著者所属研究科	工学
専攻	電子工学
学位名	工学博士
学位授与年月日	1983-11-26
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第02996号
学位記番号	06216
URL	http://hdl.handle.net/11094/1355
言語	日本語
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 1982年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 1983年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	結合型原子プローブ電界イオン顕微鏡の開発と極微小領域分析に関する研究
DC.creator	村上, 健司
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/1355
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1983-11-26
citation_title	結合型原子プローブ電界イオン顕微鏡の開発と極微小領域分析に関する研究
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/1355
citation_date	1983-11-26