高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
09199_要旨	pdf	92.5 KB	54	要旨/Abstract
09199_論文	pdf	6.28 MB	33	論文/Dissertation

タイトル	高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究
タイトル (ヨミ)	コウエネルギーイオンマイクロプローブニヨルビショウコウゾウノヒハカイサンジゲンブンセキホウノケンキュウ
著者	木野村, 淳木野村, 淳
著者の別表記	Kinomura, Atushi
著者 (ヨミ)	キノムラ, アツシ
著者所属研究科	基礎工学
専攻	物理系
学位名	工学博士
学位授与年月日	1990-03-24
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第04181号
学位記番号	09199
URL	http://hdl.handle.net/11094/1701
言語	日本語
カテゴリ	博士論文本文あり / 基礎工学研究科 / 1989年度
カテゴリ	博士論文 / 基礎工学研究科 / 1989年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究
DC.creator	木野村, 淳
DC.creator	Kinomura, Atushi
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/1701
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1990-03-24
citation_title	高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究
citation_author	木野村, 淳
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/1701
citation_date	1990-03-24