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(
2022-06-27
20:26 集計
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09199_要旨
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73
要旨/Abstract
09199_論文
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6.28 MB
57
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究
タイトル (ヨミ)
コウエネルギーイオン マイクロプローブ ニ ヨル ビショウコウゾウ ノ ヒハカイ サンジゲン ブンセキホウ ノ ケンキュウ
著者
木野村, 淳
木野村, 淳
著者の別表記
Kinomura, Atushi
著者 (ヨミ)
キノムラ, アツシ
著者所属研究科
基礎工学
専攻
物理系
学位名
工学博士
学位授与年月日
1990-03-24
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第04181号
学位記番号
09199
URL
http://hdl.handle.net/11094/1701
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / 基礎工学研究科 / 1989年度
博士論文 / 基礎工学研究科 / 1989年度
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著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究
DC.creator
木野村, 淳
DC.creator
Kinomura, Atushi
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/1701
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1990-03-24
citation_title
高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究
citation_author
木野村, 淳
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/1701
citation_date
1990-03-24