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09199_Abstract pdf なし 92.5 KB 95 2014.06.19 要旨/Abstract
09199_Dissertation pdf なし 6.28 MB 79 2012.09.22 論文/Dissertation

論文情報

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タイトル
高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究
コウエネルギーイオン マイクロプローブ ニ ヨル ビショウコウゾウ ノ ヒハカイ サンジゲン ブンセキホウ ノ ケンキュウ
著者
NRID
1000090225011 1000090225011
著者名
木野村, 淳 ; キノムラ, アツシ ; Kinomura, Atushi
学位名
工学博士
学位授与年月日
1990-03-24
学位授与機関
大阪大学
研究科
基礎工学
専攻
物理系
学位授与番号
甲第04181号
学位記番号
09199
言語
日本語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/1701
アクセス権
open access
出版タイプ
Version of Record
カテゴリ
博士論文 本文あり / 基礎工学研究科 / 1989年度
博士論文 / 基礎工学研究科 / 1989年度