直衝突イオン散乱分光による半導体表面構造とその動的変化の解析

片山, 光浩

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固定URL: https://doi.org/10.11501/3098891

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タイトル	直衝突イオン散乱分光による半導体表面構造とその動的変化の解析
タイトル	チョクショウトツイオンサンランブンコウニヨルハンドウタイヒョウメンコウゾウトソノドウテキヘンカノカイセキ
著者	NRID 1000070185817 1000070185817 researchmap permalink read0046526 read0046526 Scopus Author ID 7202979274 7202979274 著者名片山, 光浩 ; カタヤマ, ミツヒロ ; Katayama, Mituhiro
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1994-11-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第06462号
学位記番号	11593
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1711
DOI	https://doi.org/10.11501/3098891
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / その他 / 1994年度
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1994年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
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DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 1994, 博士論文
DC.title	直衝突イオン散乱分光による半導体表面構造とその動的変化の解析
DC.title	チョクショウトツイオンサンランブンコウニヨルハンドウタイヒョウメンコウゾウトソノドウテキヘンカノカイセキ
DC.creator	片山, 光浩
	カタヤマ, ミツヒロ
	Katayama, Mituhiro
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1994-11-25
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citation_title	直衝突イオン散乱分光による半導体表面構造とその動的変化の解析
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