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2021-01-21
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https://doi.org/10.11501/3129342
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13311_要旨
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86
要旨/Abstract
13311_論文
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8.33 MB
93
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発
タイトル (ヨミ)
カガクゾウフクポジガタⅢセイブンケイ デンシセンレジスト ノ セッケイ ト カイハツ
著者
堀邊, 英夫
堀邊, 英夫
著者の別表記
Horibe, Hideo
著者 (ヨミ)
ホリベ, ヒデオ
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
1997-05-23
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第07245号
学位記番号
13311
URL
http://hdl.handle.net/11094/1752
言語
日本語
DOI
info:doi/10.11501/3129342
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 1997年度
博士論文 / その他 / 1997年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発
DC.creator
堀邊, 英夫
DC.creator
Horibe, Hideo
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/1752
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1997-05-23
DC.identifier
info:doi/10.11501/3129342
citation_title
化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発
citation_author
堀邊, 英夫
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/1752
citation_date
1997-05-23
citation_doi
info:doi/10.11501/3129342