化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
13311_要旨	pdf	117 KB	49	要旨/Abstract
13311_論文	pdf	8.33 MB	171	論文/Dissertation

タイトル	化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発
タイトル (ヨミ)	カガクゾウフクポジガタⅢセイブンケイデンシセンレジストノセッケイトカイハツ
著者	堀邊, 英夫堀邊, 英夫
著者の別表記	Horibe, Hideo
著者 (ヨミ)	ホリベ, ヒデオ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1997-05-23
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第07245号
学位記番号	13311
URL	http://hdl.handle.net/11094/1752
言語	日本語
DOI	info:doi/10.11501/3129342

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発
DC.creator	堀邊, 英夫
DC.creator	Horibe, Hideo
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/1752
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1997-05-23
DC.identifier	info:doi/10.11501/3129342
citation_title	化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発
citation_author	堀邊, 英夫
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/1752
citation_date	1997-05-23
citation_doi	info:doi/10.11501/3129342