化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発

堀邊, 英夫

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固定URL: https://doi.org/10.11501/3129342

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
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13311_Dissertation	pdf	なし	8.33 MB	164	2012.09.22	論文/Dissertation

タイトル	化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発
タイトル	カガクゾウフクポジガタⅢセイブンケイデンシセンレジストノセッケイトカイハツ
著者	NRID 1000000372243 1000000372243 著者名堀邊, 英夫 ; ホリベ, ヒデオ ; Horibe, Hideo
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1997-05-23
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第07245号
学位記番号	13311
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1752
DOI	https://doi.org/10.11501/3129342
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / その他 / 1997年度
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1997年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 1997, 博士論文
DC.title	化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発
DC.title	カガクゾウフクポジガタⅢセイブンケイデンシセンレジストノセッケイトカイハツ
DC.creator	堀邊, 英夫
	ホリベ, ヒデオ
	Horibe, Hideo
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1997-05-23
DC.identifier	10.11501/3129342
DC.format	1752
citation_title	化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発
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citation_date	1997-05-23
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