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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
13311_Abstract	pdf	なし	117 KB	121	2014.08.04	要旨/Abstract
13311_Dissertation	pdf	なし	8.33 MB	118	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	化学増幅ポジ型3成分系電子線レジストの設計と開発
	カガクゾウフクポジガタⅢセイブンケイ デンシセンレジスト ノ セッケイ ト カイハツ
著者	NRID 1000000372243 1000000372243 著者名 堀邊, 英夫 ; ホリベ, ヒデオ ; Horibe, Hideo
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1997-05-23
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第07245号
学位記番号	13311
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1752
DOI	https://doi.org/10.11501/3129342
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 1997年度
	博士論文 / その他 / 1997年度

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