Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing

佐野, 智一

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固定URL: https://hdl.handle.net/11094/1888

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18893_Abstract pdf なし 103 KB 189 2014.08.04 要旨/Abstract  
18893_Dissertation pdf なし 28.0 MB 244 2012.09.22 論文/Dissertation  

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タイトル
Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing
金属のフェムト秒レーザーアブレーションの微細加工への応用
キンゾク ノ フェムト ビョウ レーザーアブレーション ノ ビサイ カコウ エノ オウヨウ
著者
NRID
1000030314371 1000030314371
ORCID
0000-0003-2624-5092 0000-0003-2624-5092
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Scopus Author ID
7402240743 7402240743
著者名
佐野, 智一 ; サノ, トモカズ ; Sano, Tomokazu
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
2004-03-25
学位授与機関
大阪大学
研究科
工学
学位授与番号
乙第08888号
学位記番号
18893
言語
英語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/1888
アクセス権
open access
出版タイプ
Version of Record
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2003年度
博士論文 / 工学研究科 / 2003年度