Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
18893_Abstract	pdf	103 KB	111	2014.08.04	要旨/Abstract
18893_Dissertation	pdf	28.0 MB	171	2012.09.22	論文/Dissertation

タイトル	Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing
	金属のフェムト秒レーザーアブレーションの微細加工への応用
	キンゾクノフェムトビョウレーザーアブレーションノビサイカコウエノオウヨウ
著者	NRID 1000030314371 1000030314371 著者名佐野, 智一サノ, トモカズ Sano, Tomokazu
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2004-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
学位授与番号	乙第08888号
学位記番号	18893
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1888
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2003年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2003年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing
	金属のフェムト秒レーザーアブレーションの微細加工への応用
	キンゾクノフェムトビョウレーザーアブレーションノビサイカコウエノオウヨウ
DC.creator	佐野, 智一
	サノ, トモカズ
	Sano, Tomokazu
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	英語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2004-03-25
DC.format	application/pdf
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	金属のフェムト秒レーザーアブレーションの微細加工への応用
	キンゾクノフェムトビョウレーザーアブレーションノビサイカコウエノオウヨウ
citation_author	佐野, 智一
	サノ, トモカズ
	Sano, Tomokazu
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citation_public_url	https://hdl.handle.net/11094/1888
citation_date	2004-03-25