Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing

佐野, 智一

アクセス数:929件（2025-07-05 02:17 集計）

固定URL: https://hdl.handle.net/11094/1888

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
18893_Abstract	pdf	なし	103 KB	198	2014.08.04	要旨/Abstract
18893_Dissertation	pdf	なし	28.0 MB	258	2012.09.22	論文/Dissertation

タイトル	Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing
	金属のフェムト秒レーザーアブレーションの微細加工への応用
	キンゾクノフェムトビョウレーザーアブレーションノビサイカコウエノオウヨウ
著者	NRID 1000030314371 1000030314371 ORCID 0000-0003-2624-5092 0000-0003-2624-5092 researchmap permalink read0068627 read0068627 Scopus Author ID 7402240743 7402240743 著者名佐野, 智一 ; サノ, トモカズ ; Sano, Tomokazu
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2004-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
学位授与番号	乙第08888号
学位記番号	18893
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/1888
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2003年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2003年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 2004, 博士論文
DC.title	Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing
	金属のフェムト秒レーザーアブレーションの微細加工への応用
	キンゾクノフェムトビョウレーザーアブレーションノビサイカコウエノオウヨウ
DC.creator	佐野, 智一
	サノ, トモカズ
	Sano, Tomokazu
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	英語
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2004-03-25
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citation_date	2004-03-25