Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
18893_要旨	pdf	103 KB	99	要旨/Abstract
18893_論文	pdf	28.0 MB	163	論文/Dissertation

タイトル	Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing
別タイトル	金属のフェムト秒レーザーアブレーションの微細加工への応用
タイトル (ヨミ)	キンゾクノフェムトビョウレーザーアブレーションノビサイカコウエノオウヨウ
著者	佐野, 智一佐野, 智一
著者の別表記	Sano, Tomokazu
著者 (ヨミ)	サノ, トモカズ
著者所属研究科	工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2004-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第08888号
学位記番号	18893
URL	http://hdl.handle.net/11094/1888
言語	英語
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2003年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2003年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing
DCTERMS.alternative	金属のフェムト秒レーザーアブレーションの微細加工への応用
DC.creator	佐野, 智一
DC.creator	Sano, Tomokazu
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/1888
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2004-03-25
citation_title	Applications of Femtosecond Laser Ablation of Metals to Microprocessing
citation_author	佐野, 智一
citation_language	英語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/1888
citation_date	2004-03-25