ようこそ ゲスト さん
雑誌ブラウズ
雑誌 全て
大阪大学 刊行物
ランキング
アクセスランキング
ダウンロードランキング
博士論文のみをさがす
このアイテムのアクセス数:
114
件
(
2021-01-18
03:53 集計
)
このアイテムへのリンクには次のURLをご利用ください:http://hdl.handle.net/11094/2108
閲覧可能ファイル
ファイル
フォーマット
サイズ
閲覧回数
説明
07498_要旨
pdf
307 KB
51
要旨/Abstract
07498_論文
pdf
10.2 MB
61
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究
タイトル (ヨミ)
ノボラック ケイ レジスト ノ ナンXセン リソグラフィ ニ カンスル ケンキュウ
著者
持地, 広造
持地, 広造
著者の別表記
Mochiji, Kouzou
著者 (ヨミ)
モチジ, コウゾウ
学位名
工学博士
学位授与年月日
1986-12-17
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第04034号
学位記番号
07498
URL
http://hdl.handle.net/11094/2108
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 1986年度
博士論文 / その他 / 1986年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究
DC.creator
持地, 広造
DC.creator
Mochiji, Kouzou
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/2108
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1986-12-17
citation_title
ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究
citation_author
持地, 広造
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/2108
citation_date
1986-12-17