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07498_Abstract pdf なし 307 KB 103 2014.08.04 要旨/Abstract
07498_Dissertation pdf なし 10.2 MB 93 2012.09.22 論文/Dissertation

論文情報

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タイトル
ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究
ノボラック ケイ レジスト ノ ナンXセン リソグラフィ ニ カンスル ケンキュウ
著者
NRID
1000040347521 1000040347521
著者名
持地, 広造 ; モチジ, コウゾウ ; Mochiji, Kouzou
学位名
工学博士
学位授与年月日
1986-12-17
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
乙第04034号
学位記番号
07498
言語
日本語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/2108
アクセス権
open access
出版タイプ
Version of Record
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 1986年度
博士論文 / その他 / 1986年度