ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
07498_要旨	pdf	307 KB	66	要旨/Abstract
07498_論文	pdf	10.2 MB	71	論文/Dissertation

タイトル	ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究
タイトル (ヨミ)	ノボラックケイレジストノナンXセンリソグラフィニカンスルケンキュウ
著者	持地, 広造持地, 広造
著者の別表記	Mochiji, Kouzou
著者 (ヨミ)	モチジ, コウゾウ
学位名	工学博士
学位授与年月日	1986-12-17
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第04034号
学位記番号	07498
URL	http://hdl.handle.net/11094/2108
言語	日本語

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究
DC.creator	持地, 広造
DC.creator	Mochiji, Kouzou
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/2108
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1986-12-17
citation_title	ノボラック系レジストの軟X線リソグラフィに関する研究
citation_author	持地, 広造
citation_language	日本語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/2108
citation_date	1986-12-17