固定URL: https://hdl.handle.net/11094/23477

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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
22981_Abstract	pdf	なし	747 KB	135	2017.02.22	要旨/Abstract
22981_Dissertation	pdf	なし	14.4 MB	1,410	2013.01.31	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	パルスレーザー誘起構造変化の計測とその応用 : フェムト秒レーザーによる半導体超高速相転移およびナノ秒レーザーによるデブリフリーダイシング技術の開発
	パルスレーザー　ユウキ　コウゾウ　ヘンカ　ノ　ケイソク　ト　ソノ　オウヨウ　フェムトビョウ　レーザー　ニヨル　ハンドウタイ　チョウコウソク　ソウテンイ　オヨビ　ナノビョウ　レーザー　ニヨル　デブリフリーダイシング　ギジュツ　ノ　カイハツ
著者	著者名 井澤, 友策 ; イザワ, ユウサク
キーワード等	フェムト秒レーザー
	シリコン
	レーザーダイシング
	MEMS
	結晶化
	アモルファス化
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2009-03-24
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	環境・エネルギー工学
学位授与番号	甲第13470号
学位記番号	22981
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/23477
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2008年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2008年度

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