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2021-01-25
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22981_要旨
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38
要旨/Abstract
22981_論文
pdf
14.4 MB
659
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
パルスレーザー誘起構造変化の計測とその応用 : フェムト秒レーザーによる半導体超高速相転移およびナノ秒レーザーによるデブリフリーダイシング技術の開発
タイトル (ヨミ)
パルスレーザー ユウキ コウゾウ ヘンカ ノ ケイソク ト ソノ オウヨウ フェムトビョウ レーザー ニヨル ハンドウタイ チョウコウソク ソウテンイ オヨビ ナノビョウ レーザー ニヨル デブリフリーダイシング ギジュツ ノ カイハツ
著者
井澤, 友策
井澤, 友策
著者 (ヨミ)
イザワ, ユウサク
キーワード等
フェムト秒レーザー
シリコン
レーザーダイシング
MEMS
結晶化
アモルファス化
著者所属研究科
工学
専攻
環境・エネルギー工学
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2009-03-24
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第13470号
学位記番号
22981
URL
http://hdl.handle.net/11094/23477
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2008年度
博士論文 / 工学研究科 / 2008年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
パルスレーザー誘起構造変化の計測とその応用 : フェムト秒レーザーによる半導体超高速相転移およびナノ秒レーザーによるデブリフリーダイシング技術の開発
DC.creator
井澤, 友策
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/23477
DC.subject
フェムト秒レーザー
シリコン
レーザーダイシング
MEMS
結晶化
アモルファス化
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
2009-03-24
citation_title
パルスレーザー誘起構造変化の計測とその応用 : フェムト秒レーザーによる半導体超高速相転移およびナノ秒レーザーによるデブリフリーダイシング技術の開発
citation_author
井澤, 友策
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/23477
citation_keywords
フェムト秒レーザー
シリコン
レーザーダイシング
MEMS
結晶化
アモルファス化
citation_date
2009-03-24