パルスレーザー誘起構造変化の計測とその応用 : フェムト秒レーザーによる半導体超高速相転移およびナノ秒レーザーによるデブリフリーダイシング技術の開発

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
22981_要旨	pdf	747 KB	21	要旨/Abstract
22981_論文	pdf	14.4 MB	449	論文/Dissertation

タイトル	パルスレーザー誘起構造変化の計測とその応用 : フェムト秒レーザーによる半導体超高速相転移およびナノ秒レーザーによるデブリフリーダイシング技術の開発
タイトル (ヨミ)	パルスレーザー　ユウキ　コウゾウ　ヘンカ　ノ　ケイソク　ト　ソノ　オウヨウ　フェムトビョウ　レーザー　ニヨル　ハンドウタイ　チョウコウソク　ソウテンイ　オヨビ　ナノビョウ　レーザー　ニヨル　デブリフリーダイシング　ギジュツ　ノ　カイハツ
著者	井澤, 友策井澤, 友策
著者 (ヨミ)	イザワ, ユウサク
キーワード等	フェムト秒レーザー
	シリコン
	レーザーダイシング
	MEMS
	結晶化
	アモルファス化
著者所属研究科	工学
専攻	環境・エネルギー工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2009-03-24
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第13470号
学位記番号	22981
URL	http://hdl.handle.net/11094/23477
言語	日本語
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2008年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2008年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	パルスレーザー誘起構造変化の計測とその応用 : フェムト秒レーザーによる半導体超高速相転移およびナノ秒レーザーによるデブリフリーダイシング技術の開発
DC.creator	井澤, 友策
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/23477
DC.subject	フェムト秒レーザー
	シリコン
	レーザーダイシング
	MEMS
	結晶化
	アモルファス化
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2009-03-24
citation_title	パルスレーザー誘起構造変化の計測とその応用 : フェムト秒レーザーによる半導体超高速相転移およびナノ秒レーザーによるデブリフリーダイシング技術の開発
citation_author	井澤, 友策
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citation_keywords	フェムト秒レーザー
	シリコン
	レーザーダイシング
	MEMS
	結晶化
	アモルファス化
citation_date	2009-03-24