ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究

伊藤, 貴司

アクセス数:318件（2025-07-15 06:02 集計）

固定URL: https://doi.org/10.11501/3113067

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
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タイトル	ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究
タイトル	ガスホウシュツスペクトルオモチイタデンシザイリョウノヒョウカニカンスルケンキュウ
著者	NRID 1000000223157 1000000223157 著者名伊藤, 貴司 ; イトウ, タカシ ; Itou, Takashi
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1996-03-28
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第06929号
学位記番号	12592
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2362
DOI	https://doi.org/10.11501/3113067
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / その他 / 1995年度
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1995年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
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DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 1996, 博士論文
DC.title	ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究
DC.title	ガスホウシュツスペクトルオモチイタデンシザイリョウノヒョウカニカンスルケンキュウ
DC.creator	伊藤, 貴司
	イトウ, タカシ
	Itou, Takashi
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1996-03-28
DC.identifier	10.11501/3113067
DC.format	2362
citation_title	ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究
citation_author	伊藤, 貴司
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citation_date	1996-03-28
citation_doi_detail	10.11501/3113067
citation_doi	https://doi.org/10.11501/3113067