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2022-05-29
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https://doi.org/10.11501/3113067
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12592_要旨
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33
要旨/Abstract
12592_論文
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7.06 MB
38
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究
タイトル (ヨミ)
ガス ホウシュツ スペクトル オ モチイタ デンシザイリョウ ノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者
伊藤, 貴司
伊藤, 貴司
著者の別表記
Itou, Takashi
著者 (ヨミ)
イトウ, タカシ
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
1996-03-28
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第06929号
学位記番号
12592
URL
http://hdl.handle.net/11094/2362
言語
日本語
DOI
info:doi/10.11501/3113067
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 1995年度
博士論文 / その他 / 1995年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究
DC.creator
伊藤, 貴司
DC.creator
Itou, Takashi
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/2362
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1996-03-28
DC.identifier
info:doi/10.11501/3113067
citation_title
ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究
citation_author
伊藤, 貴司
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/2362
citation_date
1996-03-28
citation_doi
info:doi/10.11501/3113067