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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
12592_Abstract	pdf	136 KB	43	2014.08.04	要旨/Abstract
12592_Dissertation	pdf	7.06 MB	41	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

タイトル	ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究
	ガス ホウシュツ スペクトル オ モチイタ デンシザイリョウ ノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者	NRID 1000000223157 1000000223157 著者名 伊藤, 貴司 イトウ, タカシ Itou, Takashi
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1996-03-28
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第06929号
学位記番号	12592
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2362
DOI	https://doi.org/10.11501/3113067
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 1995年度
	博士論文 / その他 / 1995年度

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