ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
12592_要旨	pdf	136 KB	24	要旨/Abstract
12592_論文	pdf	7.06 MB	28	論文/Dissertation

タイトル	ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究
タイトル (ヨミ)	ガスホウシュツスペクトルオモチイタデンシザイリョウノヒョウカニカンスルケンキュウ
著者	伊藤, 貴司伊藤, 貴司
著者の別表記	Itou, Takashi
著者 (ヨミ)	イトウ, タカシ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1996-03-28
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第06929号
学位記番号	12592
URL	http://hdl.handle.net/11094/2362
言語	日本語
DOI	info:doi/10.11501/3113067
カテゴリ	博士論文本文あり / その他 / 1995年度
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1995年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究
DC.creator	伊藤, 貴司
DC.creator	Itou, Takashi
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DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/2362
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1996-03-28
DC.identifier	info:doi/10.11501/3113067
citation_title	ガス放出スペクトルを用いた電子材料の評価に関する研究
citation_author	伊藤, 貴司
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/2362
citation_date	1996-03-28
citation_doi	info:doi/10.11501/3113067