固定URL: https://hdl.handle.net/11094/2450

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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
06049_Abstract	pdf	なし	104 KB	170	2014.06.19	要旨/Abstract
06049_Dissertation	pdf	なし	5.41 MB	317	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	電子ビーム描画作製マイクロレンズに関する研究
	デンシ ビーム ビョウガ サクセイ マイクロレンズ ニカンスル ケンキュウ
著者	著者名 藤田, 輝雄 ; フジタ, テルオ
学位名	工学博士
学位授与年月日	1983-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	電子工学
学位授与番号	甲第02959号
学位記番号	06049
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2450
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 1982年度
	博士論文 / 工学研究科 / 1982年度

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