電子ビーム描画作製マイクロレンズに関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
06049_要旨	pdf	104 KB	77	要旨/Abstract
06049_論文	pdf	5.41 MB	167	論文/Dissertation

タイトル	電子ビーム描画作製マイクロレンズに関する研究
タイトル (ヨミ)	デンシビームビョウガサクセイマイクロレンズニカンスルケンキュウ
著者	藤田, 輝雄藤田, 輝雄
著者 (ヨミ)	フジタ, テルオ
著者所属研究科	工学
専攻	電子工学
学位名	工学博士
学位授与年月日	1983-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第02959号
学位記番号	06049
URL	http://hdl.handle.net/11094/2450
言語	日本語
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 1982年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 1982年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	電子ビーム描画作製マイクロレンズに関する研究
DC.creator	藤田, 輝雄
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/2450
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1983-03-25
citation_title	電子ビーム描画作製マイクロレンズに関する研究
citation_author	藤田, 輝雄
citation_language	日本語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/2450
citation_date	1983-03-25