The hyperthermal atomic oxygen beam interaction with solid surfaces and its application to low temperature oxidation processes

Kinoshita, Hiroshi

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固定URL: https://doi.org/10.11501/3169346

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
15383_Abstract	pdf	なし	111 KB	152	2014.06.09	要旨/Abstract
15383_Dissertation	pdf	なし	19.5 MB	1,782	2013.04.03	論文/Dissertation

タイトル	The hyperthermal atomic oxygen beam interaction with solid surfaces and its application to low temperature oxidation processes
	超熱原子状酸素ビ-ムと固体表面との相互作用およびその低温酸化プロセスへの応用
	チョウネツ　ゲンシジョウ　ビーム　ト　コタイ　ヒョウメン　トノ　ソウゴ　サヨウ　オヨビ　ソノ　テイオン　サンカ　プロセス　ノ　オウヨウ
著者	NRID 1000040177895 1000040177895 著者名 Kinoshita, Hiroshi ; キノシタ, ヒロシ ; 木之下, 博
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2000-03-24
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	物質・生命工学
学位授与番号	甲第07418号
学位記番号	15383
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/24516
DOI	https://doi.org/10.11501/3169346
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 1999年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 1999年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 2000, 博士論文
DC.title	The hyperthermal atomic oxygen beam interaction with solid surfaces and its application to low temperature oxidation processes
	超熱原子状酸素ビ-ムと固体表面との相互作用およびその低温酸化プロセスへの応用
	チョウネツ　ゲンシジョウ　ビーム　ト　コタイ　ヒョウメン　トノ　ソウゴ　サヨウ　オヨビ　ソノ　テイオン　サンカ　プロセス　ノ　オウヨウ
DC.creator	Kinoshita, Hiroshi
	キノシタ, ヒロシ
	木之下, 博
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	英語
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2000-03-24
DC.identifier	10.11501/3169346
DC.format	24516
citation_title	The hyperthermal atomic oxygen beam interaction with solid surfaces and its application to low temperature oxidation processes
citation_author	Kinoshita, Hiroshi
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citation_date	2000-03-24
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