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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
jwri39_02_322	pdf	なし	445 KB	185	2013.05.08

論文情報

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タイトル	Development of amorphous boron carbon oxynitride film for transmission electron microscope with environmental-cell system
著者	著者名 Matsutani, Takaomi
	NRID 1000000411413 1000000411413 著者名 Tsutsui, Hidenori
	著者名 Kawakaki, Tadahiro
キーワード等	Plasma chemical vapor deposition
	Amorphous boron carbon oxynitride
	Diaphragm
	Environmental cell
	Transmission electron microscope
出版者	大阪大学接合科学研究所
	オオサカ ダイガク セツゴウ カガク ケンキュウジョ
	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
収録物名	Transactions of JWRI
巻(号)	39(2)
ページ	322-324
刊行年月	2010-12
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/24798
DOI	https://doi.org/10.18910/24798
PISSN	03874508
NCID	AA00867058
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
	Transactions of JWRI / Vol.39 No.2 (2010-12)

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