Development of amorphous boron carbon oxynitride film for transmission electron microscope with environmental-cell system

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
jwri39_02_322	pdf	445 KB	127

タイトル	Development of amorphous boron carbon oxynitride film for transmission electron microscope with environmental-cell system
著者	Matsutani, Takaomi Matsutani, Takaomi
	Tsutsui, Hidenori Tsutsui, Hidenori
	Kawakaki, Tadahiro Kawakaki, Tadahiro
キーワード等	Plasma chemical vapor deposition
	Amorphous boron carbon oxynitride
	Diaphragm
	Environmental cell
	Transmission electron microscope
公開者	大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクセツゴウカガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	39
号	2
開始ページ	322
終了ページ	324
刊行年月	2010-12
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/24798
言語	英語
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	Transactions of JWRI / Vol.39 No.2 (2010-12)

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.39(2) P.322-P.324
DC.title	Development of amorphous boron carbon oxynitride film for transmission electron microscope with environmental-cell system
DC.creator	Matsutani, Takaomi
	Tsutsui, Hidenori
	Kawakaki, Tadahiro
DC.publisher	大阪大学接合科学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2010-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/24798
DC.subject	Plasma chemical vapor deposition
	Amorphous boron carbon oxynitride
	Diaphragm
	Environmental cell
	Transmission electron microscope
citation_title	Development of amorphous boron carbon oxynitride film for transmission electron microscope with environmental-cell system
citation_author	Matsutani, Takaomi
	Tsutsui, Hidenori
	Kawakaki, Tadahiro
citation_publisher	大阪大学接合科学研究所
citation_language	英語
citation_date	2010-12
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	39
citation_issue	2
citation_firstpage	322
citation_lastpage	324
citation_issn	03874508
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/24798
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	Amorphous boron carbon oxynitride
	Diaphragm
	Environmental cell
	Transmission electron microscope