Investigations on frequency shift probes for monitoring of electron conditions in nano-materials processing plasmas

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jwri39_02_338	pdf	176 KB	49

タイトル	Investigations on frequency shift probes for monitoring of electron conditions in nano-materials processing plasmas
著者	Nakamura, Keiji Nakamura, Keiji
著者	Sugai, Hideo Sugai, Hideo
公開者	大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクセツゴウカガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	39
号	2
開始ページ	338
終了ページ	339
刊行年月	2010-12
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/24829
言語	英語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.39(2) P.338-P.339
DC.title	Investigations on frequency shift probes for monitoring of electron conditions in nano-materials processing plasmas
DC.creator	Nakamura, Keiji
DC.creator	Sugai, Hideo
DC.publisher	大阪大学接合科学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2010-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/24829
citation_title	Investigations on frequency shift probes for monitoring of electron conditions in nano-materials processing plasmas
citation_author	Nakamura, Keiji
citation_author	Sugai, Hideo
citation_publisher	大阪大学接合科学研究所
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citation_date	2010-12
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	39
citation_issue	2
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/24829