Investigations on frequency shift probes for monitoring of electron conditions in nano-materials processing plasmas

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jwri39_02_338	pdf	176 KB	43

タイトル	Investigations on frequency shift probes for monitoring of electron conditions in nano-materials processing plasmas
著者	Nakamura, Keiji Nakamura, Keiji
著者	Sugai, Hideo Sugai, Hideo
キーワード等	Electron density
	Electron temperature
	Frequency shift probe
	Plasma monitoring
	Sheath effect
	Sheath width
	Resonance frequency
公開者	大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクセツゴウカガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	39
号	2
開始ページ	338
終了ページ	339
刊行年月	2010-12
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/24829
言語	英語
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	Transactions of JWRI / Vol.39 No.2 (2010-12)

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.39(2) P.338-P.339
DC.title	Investigations on frequency shift probes for monitoring of electron conditions in nano-materials processing plasmas
DC.creator	Nakamura, Keiji
DC.creator	Sugai, Hideo
DC.publisher	大阪大学接合科学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2010-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/24829
DC.subject	Electron density
	Electron temperature
	Frequency shift probe
	Plasma monitoring
	Sheath effect
	Sheath width
	Resonance frequency
citation_title	Investigations on frequency shift probes for monitoring of electron conditions in nano-materials processing plasmas
citation_author	Nakamura, Keiji
citation_author	Sugai, Hideo
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citation_language	英語
citation_date	2010-12
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	39
citation_issue	2
citation_firstpage	338
citation_lastpage	339
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/24829
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	Plasma monitoring
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	Sheath width
	Resonance frequency