Investigations on frequency shift probes for monitoring of electron conditions in nano-materials processing plasmas

Nakamura, Keiji; Sugai, Hideo

Transactions of JWRI, 2010, 39(2), 338-339

アクセス数:1962025-07-09 23:10 集計

固定URL: https://doi.org/10.18910/24829

閲覧可能ファイル 

ファイル フォーマット 利用条件 サイズ 閲覧回数 利用開始日 説明 information
jwri39_02_338 pdf なし 176 KB 100 2013.05.08  

論文情報

ファイル出力 EndNote Basic出力 Mendeley出力

タイトル
著者
キーワード等
出版者
収録物名
巻(号)
ページ
刊行年月
言語
ハンドルURL
DOI
PISSN
NCID
アクセス権
出版タイプ
カテゴリ