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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
jwri39_02_338	pdf	なし	176 KB	75	2013.05.08

論文情報

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タイトル	Investigations on frequency shift probes for monitoring of electron conditions in nano-materials processing plasmas
著者	NRID 1000020227888 1000020227888 著者名 Nakamura, Keiji
	NRID 1000040005517 1000040005517 著者名 Sugai, Hideo
キーワード等	Electron density
	Electron temperature
	Frequency shift probe
	Plasma monitoring
	Sheath effect
	Sheath width
	Resonance frequency
出版者	大阪大学接合科学研究所
	オオサカ ダイガク セツゴウ カガク ケンキュウジョ
	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
収録物名	Transactions of JWRI
巻(号)	39(2)
ページ	338-339
刊行年月	2010-12
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/24829
DOI	https://doi.org/10.18910/24829
PISSN	03874508
NCID	AA00867058
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
	Transactions of JWRI / Vol.39 No.2 (2010-12)

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