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2022-08-09
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16570_要旨
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73
要旨/Abstract
16570_論文
pdf
6.65 MB
202
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
ECRプラズマスパッタリングによる高品質SrTiO3薄膜の低温合成
タイトル (ヨミ)
ECR プラズマスパッタリング ニヨル コウヒンシツ SrTiO3 ハクメク ノ テイオン ゴウセイ
著者
馬場, 創
馬場, 創
著者の別表記
Baba, Sou
著者 (ヨミ)
ババ, ソウ
著者所属研究科
工学
専攻
マテリアル応用工学
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2001-11-28
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第08222号
学位記番号
16570
URL
http://hdl.handle.net/11094/2488
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2001年度
博士論文 / 工学研究科 / 2001年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
ECRプラズマスパッタリングによる高品質SrTiO3薄膜の低温合成
DC.creator
馬場, 創
DC.creator
Baba, Sou
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/2488
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
2001-11-28
citation_title
ECRプラズマスパッタリングによる高品質SrTiO3薄膜の低温合成
citation_author
馬場, 創
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/2488
citation_date
2001-11-28