ECRプラズマスパッタリングによる高品質SrTiO3薄膜の低温合成

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
16570_要旨	pdf	138 KB	56	要旨/Abstract
16570_論文	pdf	6.65 MB	160	論文/Dissertation

タイトル	ECRプラズマスパッタリングによる高品質SrTiO3薄膜の低温合成
タイトル (ヨミ)	ECR プラズマスパッタリングニヨルコウヒンシツ SrTiO3 ハクメクノテイオンゴウセイ
著者	馬場, 創馬場, 創
著者の別表記	Baba, Sou
著者 (ヨミ)	ババ, ソウ
著者所属研究科	工学
専攻	マテリアル応用工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2001-11-28
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第08222号
学位記番号	16570
URL	http://hdl.handle.net/11094/2488
言語	日本語
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2001年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2001年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	ECRプラズマスパッタリングによる高品質SrTiO3薄膜の低温合成
DC.creator	馬場, 創
DC.creator	Baba, Sou
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DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2001-11-28
citation_title	ECRプラズマスパッタリングによる高品質SrTiO3薄膜の低温合成
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citation_date	2001-11-28