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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
16570_Abstract	pdf	なし	138 KB	87	2014.06.09	要旨/Abstract
16570_Dissertation	pdf	なし	6.65 MB	220	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	ECRプラズマスパッタリングによる高品質SrTiO3薄膜の低温合成
	ECR プラズマスパッタリング ニヨル コウヒンシツ SrTiO3 ハクメク ノ テイオン ゴウセイ
著者	著者名 馬場, 創 ; ババ, ソウ ; Baba, Sou
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2001-11-28
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	マテリアル応用工学
学位授与番号	甲第08222号
学位記番号	16570
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2488
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2001年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2001年度

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