シリコン単結晶成長プロセスの数値シミュレーションに要求される熱物性値
福山, 博之; 塚田, 隆夫; 渡邉, 匡人 他
日本結晶成長学会誌, 2004, 30(5), 364-369
アクセス数:1,461件（2025-07-19 08:07 集計）
|
|
固定URL: https://hdl.handle.net/11094/26058
|
閲覧可能ファイル
| ファイル |
フォーマット |
利用条件 |
サイズ |
閲覧回数 |
利用開始日 |
説明 |
information |
|
JJACG30_5_364
|
pdf
|
なし
|
535 KB |
173
|
2013.10.18
|
|
|
論文情報
ファイル出力
EndNote Basic出力
Mendeley出力
| タイトル |
|
|
|
|
|
| 著者 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 内容 |
|
| 出版者 |
|
|
|
| 収録物名 |
|
| 巻(号) |
|
| ページ |
|
| 刊行年月 |
|
| 言語 |
|
| ハンドルURL |
|
| PISSN |
|
| NCID |
|
| 関連情報 (isVersionOf) |
|
| アクセス権 |
|
| 権利情報 |
|
|
|
| 出版タイプ |
|
| カテゴリ |
|
| 資源タイプ |
|
| ローカル資源タイプ |
|
| DCMI資源タイプ |
|
| DCTERMS.bibliographicCitation |
|
| DC.title |
|
|
|
|
|
| DC.creator |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| DC.publisher |
|
|
|
| DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766 |
|
| DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType |
|
| DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF |
|
| DC.relation' scheme='DCTERMS.URI |
|
| DC.description |
|
| DC.rights |
|
|
|
| DC.format |
|
| citation_title |
|
| citation_author |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| citation_publisher |
|
| citation_language |
|
| citation_date |
|
| citation_journal_title |
|
| citation_volume |
|
| citation_issue |
|
| citation_firstpage |
|
| citation_lastpage |
|
| citation_public_url |
|
| citation_abstract_html_url |
|
