シリコン単結晶成長プロセスの数値シミュレーションに要求される熱物性値
福山, 博之; 塚田, 隆夫; 渡邉, 匡人 他
日本結晶成長学会誌, 2004, 30(5), 364-369
アクセス数:1,349件（2025-07-05 11:52 集計）
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固定URL: https://hdl.handle.net/11094/26058
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説明 |
information |
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JJACG30_5_364
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pdf
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なし
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535 KB |
173
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2013.10.18
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論文情報
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