シリコン単結晶成長プロセスの数値シミュレーションに要求される熱物性値

福山, 博之; 塚田, 隆夫; 渡邉, 匡人 他

日本結晶成長学会誌, 2004, 30(5), 364-369

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JJACG30_5_364 pdf なし 535 KB 173 2013.10.18  

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