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2022-05-29
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https://doi.org/10.18910/26180
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26366_要旨
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94
要旨/Abstract
26366_論文
pdf
13.2 MB
1,039
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
高感度吸収分光法の開発とプラズマ反応場中の微量ガス濃度解析
タイトル (ヨミ)
コウカンド キュウシュウ ブンコウホウ ノ カイハツ ト プラズマ ハンノウバチュウ ノ ビリョウ ガス ノウド カイセキ
著者
弓井, 孝佳
弓井, 孝佳
著者 (ヨミ)
ユミイ, タカヨシ
著者所属研究科
工学
専攻
マテリアル生産科学
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2013-09-25
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第16567号
学位記番号
26366
URL
http://hdl.handle.net/11094/26180
言語
日本語
DOI
info:doi/10.18910/26180
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2013年度
博士論文 / 工学研究科 / 2013年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
高感度吸収分光法の開発とプラズマ反応場中の微量ガス濃度解析
DC.creator
弓井, 孝佳
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/26180
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
2013-09-25
DC.identifier
info:doi/10.18910/26180
citation_title
高感度吸収分光法の開発とプラズマ反応場中の微量ガス濃度解析
citation_author
弓井, 孝佳
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/26180
citation_date
2013-09-25
citation_doi
info:doi/10.18910/26180