高感度吸収分光法の開発とプラズマ反応場中の微量ガス濃度解析

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
26366_要旨	pdf	88.7 KB	90	要旨/Abstract
26366_論文	pdf	13.2 MB	543	論文/Dissertation

タイトル	高感度吸収分光法の開発とプラズマ反応場中の微量ガス濃度解析
タイトル (ヨミ)	コウカンド　キュウシュウ　ブンコウホウ　ノ　カイハツ　ト　プラズマ　ハンノウバチュウ　ノ　ビリョウ　ガス　ノウド　カイセキ
著者	弓井, 孝佳弓井, 孝佳
著者 (ヨミ)	ユミイ, タカヨシ
著者所属研究科	工学
専攻	マテリアル生産科学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2013-09-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第16567号
学位記番号	26366
URL	http://hdl.handle.net/11094/26180
言語	日本語
DOI	info:doi/10.18910/26180

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	高感度吸収分光法の開発とプラズマ反応場中の微量ガス濃度解析
DC.creator	弓井, 孝佳
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/26180
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2013-09-25
DC.identifier	info:doi/10.18910/26180
citation_title	高感度吸収分光法の開発とプラズマ反応場中の微量ガス濃度解析
citation_author	弓井, 孝佳
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citation_date	2013-09-25
citation_doi	info:doi/10.18910/26180