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2022-08-14
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17187_要旨
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91
要旨/Abstract
17187_論文
pdf
7.42 MB
280
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
圧電体薄膜を利用したマイクロメカニカル素子に関する研究
タイトル (ヨミ)
アツデンタイ ハクマク オ リヨウ シタ マイクロ メカニカル ソシ ニ カンスル ケンキュウ
著者
山下, 馨
山下, 馨
著者の別表記
Yamashita, Kaoru
著者 (ヨミ)
ヤマシタ, カオル
著者所属研究科
工学
専攻
電気工学
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2002-03-25
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第08465号
学位記番号
17187
URL
http://hdl.handle.net/11094/2655
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2001年度
博士論文 / 工学研究科 / 2001年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
圧電体薄膜を利用したマイクロメカニカル素子に関する研究
DC.creator
山下, 馨
DC.creator
Yamashita, Kaoru
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/2655
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
2002-03-25
citation_title
圧電体薄膜を利用したマイクロメカニカル素子に関する研究
citation_author
山下, 馨
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/2655
citation_date
2002-03-25