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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
17187_Abstract	pdf	なし	113 KB	110	2014.06.09	要旨/Abstract
17187_Dissertation	pdf	なし	7.42 MB	315	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	圧電体薄膜を利用したマイクロメカニカル素子に関する研究
	アツデンタイ ハクマク オ リヨウ シタ マイクロ メカニカル ソシ ニ カンスル ケンキュウ
著者	NRID 1000040263230 1000040263230 著者名 山下, 馨 ; ヤマシタ, カオル ; Yamashita, Kaoru
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2002-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	電気工学
学位授与番号	乙第08465号
学位記番号	17187
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2655
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2001年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2001年度

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