圧電体薄膜を利用したマイクロメカニカル素子に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
17187_要旨	pdf	113 KB	87	要旨/Abstract
17187_論文	pdf	7.42 MB	224	論文/Dissertation

タイトル	圧電体薄膜を利用したマイクロメカニカル素子に関する研究
タイトル (ヨミ)	アツデンタイハクマクオリヨウシタマイクロメカニカルソシニカンスルケンキュウ
著者	山下, 馨山下, 馨
著者の別表記	Yamashita, Kaoru
著者 (ヨミ)	ヤマシタ, カオル
著者所属研究科	工学
専攻	電気工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2002-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第08465号
学位記番号	17187
URL	http://hdl.handle.net/11094/2655
言語	日本語

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	圧電体薄膜を利用したマイクロメカニカル素子に関する研究
DC.creator	山下, 馨
DC.creator	Yamashita, Kaoru
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/2655
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2002-03-25
citation_title	圧電体薄膜を利用したマイクロメカニカル素子に関する研究
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citation_language	日本語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/2655
citation_date	2002-03-25