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2022-06-25
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https://doi.org/10.11501/3155727
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14844_要旨
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要旨/Abstract
14844_論文
pdf
9.46 MB
81
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究
タイトル (ヨミ)
イオンビーム シエンジョウチャクホウ ニヨル ジュンアンテイ チッカブツ コウシツハクマク ノ ゴウセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者
鈴木, 常生
鈴木, 常生
著者の別表記
Suzuki, Tuneo
著者 (ヨミ)
スズキ, ツネオ
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
1999-05-28
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第07794号
学位記番号
14844
URL
http://hdl.handle.net/11094/2708
言語
日本語
DOI
info:doi/10.11501/3155727
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 1999年度
博士論文 / その他 / 1999年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究
DC.creator
鈴木, 常生
DC.creator
Suzuki, Tuneo
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/2708
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1999-05-28
DC.identifier
info:doi/10.11501/3155727
citation_title
イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究
citation_author
鈴木, 常生
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/2708
citation_date
1999-05-28
citation_doi
info:doi/10.11501/3155727