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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
14844_Abstract	pdf	なし	126 KB	134	2014.08.04	要旨/Abstract
14844_Dissertation	pdf	なし	9.46 MB	103	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究
	イオンビーム シエンジョウチャクホウ ニヨル ジュンアンテイ チッカブツ コウシツハクマク ノ ゴウセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者	NRID 1000000313560 1000000313560 著者名 鈴木, 常生 ; スズキ, ツネオ ; Suzuki, Tuneo
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1999-05-28
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第07794号
学位記番号	14844
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2708
DOI	https://doi.org/10.11501/3155727
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 1999年度
	博士論文 / その他 / 1999年度

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