イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究

鈴木, 常生

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固定URL: https://doi.org/10.11501/3155727

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
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タイトル	イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究
タイトル	イオンビームシエンジョウチャクホウニヨルジュンアンテイチッカブツコウシツハクマクノゴウセイニカンスルケンキュウ
著者	NRID 1000000313560 1000000313560 著者名鈴木, 常生 ; スズキ, ツネオ ; Suzuki, Tuneo
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1999-05-28
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第07794号
学位記番号	14844
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2708
DOI	https://doi.org/10.11501/3155727
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / その他 / 1999年度
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1999年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
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DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 1999, 博士論文
DC.title	イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究
DC.title	イオンビームシエンジョウチャクホウニヨルジュンアンテイチッカブツコウシツハクマクノゴウセイニカンスルケンキュウ
DC.creator	鈴木, 常生
	スズキ, ツネオ
	Suzuki, Tuneo
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	日本語
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1999-05-28
DC.identifier	10.11501/3155727
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citation_title	イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究
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citation_date	1999-05-28
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