イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
14844_要旨	pdf	126 KB	61	要旨/Abstract
14844_論文	pdf	9.46 MB	93	論文/Dissertation

タイトル	イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究
タイトル (ヨミ)	イオンビームシエンジョウチャクホウニヨルジュンアンテイチッカブツコウシツハクマクノゴウセイニカンスルケンキュウ
著者	鈴木, 常生鈴木, 常生
著者の別表記	Suzuki, Tuneo
著者 (ヨミ)	スズキ, ツネオ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1999-05-28
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第07794号
学位記番号	14844
URL	http://hdl.handle.net/11094/2708
言語	日本語
DOI	info:doi/10.11501/3155727

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究
DC.creator	鈴木, 常生
DC.creator	Suzuki, Tuneo
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/2708
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1999-05-28
DC.identifier	info:doi/10.11501/3155727
citation_title	イオンビーム支援蒸着法による準安定窒化物硬質薄膜の合成に関する研究
citation_author	鈴木, 常生
citation_language	日本語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/2708
citation_date	1999-05-28
citation_doi	info:doi/10.11501/3155727