X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究

千葉, 明

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固定URL: https://doi.org/10.11501/3075205

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
11094_Abstract	pdf	なし	129 KB	107	2014.08.04	要旨/Abstract
11094_Dissertation	pdf	なし	4.11 MB	207	2012.09.22	論文/Dissertation

タイトル	X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究
タイトル	Xセンロコウチュウニオケル Xセンマスクキバンノドウテキネツユガミゲンショウニカンスルケンキュウ
著者	著者名千葉, 明 ; チバ, アキラ ; Chiba, Akira
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1994-02-18
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第06217号
学位記番号	11094
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2717
DOI	https://doi.org/10.11501/3075205
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / その他 / 1993年度
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1993年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 1994, 博士論文
DC.title	X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究
DC.title	Xセンロコウチュウニオケル Xセンマスクキバンノドウテキネツユガミゲンショウニカンスルケンキュウ
DC.creator	千葉, 明
	チバ, アキラ
	Chiba, Akira
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1994-02-18
DC.identifier	10.11501/3075205
DC.format	2717
citation_title	X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究
citation_author	千葉, 明
citation_language	日本語
citation_public_url	https://hdl.handle.net/11094/2717
citation_date	1994-02-18
citation_doi_detail	10.11501/3075205
citation_doi	https://doi.org/10.11501/3075205