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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
11094_Abstract	pdf	なし	129 KB	64	2014.08.04	要旨/Abstract
11094_Dissertation	pdf	なし	4.11 MB	129	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究
	Xセン ロコウ チュウ ニ オケル Xセン マスク キバン ノ ドウテキ ネツ ユガミ ゲンショウ ニ カンスル ケンキュウ
著者	著者名 千葉, 明 ; チバ, アキラ ; Chiba, Akira
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1994-02-18
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第06217号
学位記番号	11094
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2717
DOI	https://doi.org/10.11501/3075205
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 1993年度
	博士論文 / その他 / 1993年度

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