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2021-02-26
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https://doi.org/10.11501/3075205
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11094_要旨
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要旨/Abstract
11094_論文
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4.11 MB
88
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究
タイトル (ヨミ)
Xセン ロコウ チュウ ニ オケル Xセン マスク キバン ノ ドウテキ ネツ ユガミ ゲンショウ ニ カンスル ケンキュウ
著者
千葉, 明
千葉, 明
著者の別表記
Chiba, Akira
著者 (ヨミ)
チバ, アキラ
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
1994-02-18
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第06217号
学位記番号
11094
URL
http://hdl.handle.net/11094/2717
言語
日本語
DOI
info:doi/10.11501/3075205
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 1993年度
博士論文 / その他 / 1993年度
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著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究
DC.creator
千葉, 明
DC.creator
Chiba, Akira
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/2717
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1994-02-18
DC.identifier
info:doi/10.11501/3075205
citation_title
X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究
citation_author
千葉, 明
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/2717
citation_date
1994-02-18
citation_doi
info:doi/10.11501/3075205