X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
11094_要旨	pdf	129 KB	41	要旨/Abstract
11094_論文	pdf	4.11 MB	88	論文/Dissertation

タイトル	X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究
タイトル (ヨミ)	Xセンロコウチュウニオケル Xセンマスクキバンノドウテキネツユガミゲンショウニカンスルケンキュウ
著者	千葉, 明千葉, 明
著者の別表記	Chiba, Akira
著者 (ヨミ)	チバ, アキラ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1994-02-18
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第06217号
学位記番号	11094
URL	http://hdl.handle.net/11094/2717
言語	日本語
DOI	info:doi/10.11501/3075205
カテゴリ	博士論文本文あり / その他 / 1993年度
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1993年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究
DC.creator	千葉, 明
DC.creator	Chiba, Akira
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/2717
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1994-02-18
DC.identifier	info:doi/10.11501/3075205
citation_title	X線露光中におけるX線マスク基板の動的熱歪み現象に関する研究
citation_author	千葉, 明
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citation_date	1994-02-18
citation_doi	info:doi/10.11501/3075205