固定URL: https://hdl.handle.net/11094/27529

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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
26166_Abstract	pdf	なし	967 KB	183	2017.02.22	要旨/Abstract
26166_Dissertation	pdf	なし	39.5 MB	1,775	2014.04.15	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	遷移金属を用いた触媒表面基準エッチング法による機能性材料の平坦化加工
	センイ　キンゾク　ヲ　モチイタ　ショクバイ　ヒョウメン　キジュン　エッチングホウ　ニ　ヨル　キノウセイ　ザイリョウ　ノ　ヘイタンカ　カコウ
著者	著者名 定國, 峻 ; サダクニ, シュン
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2013-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	精密科学・応用物理学
学位授与番号	甲第16380号
学位記番号	26166
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/27529
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2012年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2012年度

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