高周波GaAs系ヘテロ接合電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハのMOVPE成長技術に関する研究

このアイテムのアクセス数:144件（2022-10-05 10:33 集計）

このアイテムへのリンクには次のURLをご利用ください: https://hdl.handle.net/11094/27626

ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
23365_Abstract	pdf	347 KB	54	2015.03.27	要旨/Abstract
23365_Dissertation	pdf	13.8 MB	1,946	2014.04.16	論文/Dissertation

タイトル	高周波GaAs系ヘテロ接合電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハのMOVPE成長技術に関する研究
タイトル	コウシュウハ　GaAsケイ　ヘテロ　セツゴウ　デンカイ　コウカ　トランジスタヨウ　エピタキシャルウェハ　ノ　MOVPE　セイチョウ　ギジュツ　ニ　カンスル　ケンキュウ
著者	著者名坂口, 春典サカグチ, ハルノリ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2009-09-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	マテリアル生産科学
学位授与番号	甲第13816号
学位記番号	23365
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/27626
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2009年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2009年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DC.title	高周波GaAs系ヘテロ接合電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハのMOVPE成長技術に関する研究
DC.title	コウシュウハ　GaAsケイ　ヘテロ　セツゴウ　デンカイ　コウカ　トランジスタヨウ　エピタキシャルウェハ　ノ　MOVPE　セイチョウ　ギジュツ　ニ　カンスル　ケンキュウ
DC.creator	坂口, 春典
DC.creator	サカグチ, ハルノリ
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2009-09-25
DC.format	application/pdf
DC.format	application/pdf
citation_title	高周波GaAs系ヘテロ接合電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハのMOVPE成長技術に関する研究
citation_title	コウシュウハ　GaAsケイ　ヘテロ　セツゴウ　デンカイ　コウカ　トランジスタヨウ　エピタキシャルウェハ　ノ　MOVPE　セイチョウ　ギジュツ　ニ　カンスル　ケンキュウ
citation_author	坂口, 春典
citation_author	サカグチ, ハルノリ
citation_language	日本語
citation_public_url	https://hdl.handle.net/11094/27626
citation_date	2009-09-25