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2021-01-27
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23365_要旨
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要旨/Abstract
23365_論文
pdf
13.8 MB
1,575
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
高周波GaAs系ヘテロ接合電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハのMOVPE成長技術に関する研究
タイトル (ヨミ)
コウシュウハ GaAsケイ ヘテロ セツゴウ デンカイ コウカ トランジスタヨウ エピタキシャルウェハ ノ MOVPE セイチョウ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
著者
坂口, 春典
坂口, 春典
著者 (ヨミ)
サカグチ, ハルノリ
著者所属研究科
工学
専攻
マテリアル生産科学
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2009-09-25
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第13816号
学位記番号
23365
URL
http://hdl.handle.net/11094/27626
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2009年度
博士論文 / 工学研究科 / 2009年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
高周波GaAs系ヘテロ接合電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハのMOVPE成長技術に関する研究
DC.creator
坂口, 春典
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/27626
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
2009-09-25
citation_title
高周波GaAs系ヘテロ接合電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハのMOVPE成長技術に関する研究
citation_author
坂口, 春典
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/27626
citation_date
2009-09-25