固定URL: https://hdl.handle.net/11094/27626

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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
23365_Abstract	pdf	なし	347 KB	126	2015.03.27	要旨/Abstract
23365_Dissertation	pdf	なし	13.8 MB	2,474	2014.04.16	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	高周波GaAs系ヘテロ接合電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハのMOVPE成長技術に関する研究
	コウシュウハ　GaAsケイ　ヘテロ　セツゴウ　デンカイ　コウカ　トランジスタヨウ　エピタキシャルウェハ　ノ　MOVPE　セイチョウ　ギジュツ　ニ　カンスル　ケンキュウ
著者	著者名 坂口, 春典 ; サカグチ, ハルノリ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2009-09-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	マテリアル生産科学
学位授与番号	甲第13816号
学位記番号	23365
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/27626
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2009年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2009年度

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