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2021-03-08
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)
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17395_要旨
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要旨/Abstract
17395_論文
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73
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 -超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作-
タイトル (ヨミ)
プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニヨル チョウ セイミツ カコウ ニ カンスル ケンキュウ チョウ ハクマク SOI Silicon on Insulator ウエハ ノ セイサク
著者
佐野, 泰久
佐野, 泰久
著者の別表記
Sano, Yasuhisa
著者 (ヨミ)
サノ, ヤスヒサ
著者所属研究科
工学
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2003-01-24
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第08588号
学位記番号
17395
URL
http://hdl.handle.net/11094/2809
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2002年度
博士論文 / 工学研究科 / 2002年度
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著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 -超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作-
DC.creator
佐野, 泰久
DC.creator
Sano, Yasuhisa
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/2809
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
2003-01-24
citation_title
プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 -超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作-
citation_author
佐野, 泰久
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/2809
citation_date
2003-01-24