プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 -超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作-

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
17395_要旨	pdf	160 KB	74	要旨/Abstract
17395_論文	pdf	19.6 MB	75	論文/Dissertation

タイトル	プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 -超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作-
タイトル (ヨミ)	プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニヨルチョウセイミツカコウニカンスルケンキュウチョウハクマク SOI Silicon on Insulator ウエハノセイサク
著者	佐野, 泰久佐野, 泰久
著者の別表記	Sano, Yasuhisa
著者 (ヨミ)	サノ, ヤスヒサ
著者所属研究科	工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2003-01-24
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第08588号
学位記番号	17395
URL	http://hdl.handle.net/11094/2809
言語	日本語
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2002年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2002年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 -超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作-
DC.creator	佐野, 泰久
DC.creator	Sano, Yasuhisa
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DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/2809
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2003-01-24
citation_title	プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 -超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作-
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/2809
citation_date	2003-01-24