プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 -超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作-

佐野, 泰久

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17395_Abstract pdf なし 160 KB 168 2014.08.04 要旨/Abstract  
17395_Dissertation pdf なし 19.6 MB 174 2012.09.22 論文/Dissertation  

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タイトル
プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究 -超薄膜SOI(Silicon on Insulator)ウエハの製作-
プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニヨル チョウ セイミツ カコウ ニ カンスル ケンキュウ チョウ ハクマク SOI Silicon on Insulator ウエハ ノ セイサク
著者
NRID
1000040252598 1000040252598
ORCID
0000-0002-1767-922X 0000-0002-1767-922X
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Scopus Author ID
7402344818 7402344818
著者名
佐野, 泰久 ; サノ, ヤスヒサ ; Sano, Yasuhisa
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
2003-01-24
学位授与機関
大阪大学
研究科
工学
学位授与番号
乙第08588号
学位記番号
17395
言語
日本語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/2809
アクセス権
open access
出版タイプ
Version of Record
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2002年度
博士論文 / 工学研究科 / 2002年度