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(
2022-06-27
11:01 集計
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25493_要旨
pdf
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28
要旨/Abstract
25493_論文
pdf
15.4 MB
2,318
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
真空紫外光を用いた銅の超平滑化技術の開発
タイトル (ヨミ)
シンクウ シガイコウ ヲ モチイタ ドウ ノ チョウ ヘイカツカ ギジュツ ノ カイハツ
著者
桐野, 宙治
桐野, 宙治
著者 (ヨミ)
キリノ, オキハル
キーワード等
VUV
polishing
著者所属研究科
工学
専攻
機械工学
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2012-03-22
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第15755号
学位記番号
25493
URL
http://hdl.handle.net/11094/2818
言語
日本語
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2011年度
博士論文 / 工学研究科 / 2011年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
真空紫外光を用いた銅の超平滑化技術の開発
DC.creator
桐野, 宙治
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/2818
DC.subject
VUV
polishing
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
2012-03-22
citation_title
真空紫外光を用いた銅の超平滑化技術の開発
citation_author
桐野, 宙治
citation_language
日本語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/2818
citation_keywords
VUV
polishing
citation_date
2012-03-22