真空紫外光を用いた銅の超平滑化技術の開発

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
25493_要旨	pdf	870 KB	15	要旨/Abstract
25493_論文	pdf	15.4 MB	1,453	論文/Dissertation

タイトル	真空紫外光を用いた銅の超平滑化技術の開発
タイトル (ヨミ)	シンクウシガイコウヲモチイタドウノチョウヘイカツカギジュツノカイハツ
著者	桐野, 宙治桐野, 宙治
著者 (ヨミ)	キリノ, オキハル
キーワード等	VUV
キーワード等	polishing
著者所属研究科	工学
専攻	機械工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2012-03-22
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第15755号
学位記番号	25493
URL	http://hdl.handle.net/11094/2818
言語	日本語

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	真空紫外光を用いた銅の超平滑化技術の開発
DC.creator	桐野, 宙治
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/2818
DC.subject	VUV
DC.subject	polishing
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2012-03-22
citation_title	真空紫外光を用いた銅の超平滑化技術の開発
citation_author	桐野, 宙治
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/2818
citation_keywords	VUV
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citation_date	2012-03-22