固定URL: https://hdl.handle.net/11094/2818

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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
25493_Abstract	pdf	なし	870 KB	146	2017.02.22	要旨/Abstract
25493_Dissertation	pdf	なし	15.4 MB	3,021	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	真空紫外光を用いた銅の超平滑化技術の開発
	シンクウ シガイコウ ヲ モチイタ ドウ ノ チョウ ヘイカツカ ギジュツ ノ カイハツ
著者	著者名 桐野, 宙治 ; キリノ, オキハル
キーワード等	VUV
	polishing
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2012-03-22
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	機械工学
学位授与番号	甲第15755号
学位記番号	25493
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2818
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2011年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2011年度

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