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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
jsme75_752_397	pdf	なし	663 KB	158	2012.09.22

論文情報

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タイトル	薄膜弾性定数の測定
	Measurements of Thin-Film Elastic Constants
	ハクマク ダンセイ テイスウ ノ ソクテイ
著者	NRID 1000080112027 1000080112027 著者名 平尾, 雅彦 ; ヒラオ, マサヒコ ; Hirao, Masahiko
	NRID 1000090252626 1000090252626 researchmap permalink read0042771 read0042771 Scopus Author ID 35563683500 35563683500 著者名 荻, 博次 ; オギ, ヒロツグ ; Ogi, Hirotsugu
キーワード等	Elastic Constants
	Thin Films
	Anisotropy Microstructure
	Ultrasound
	Resonance
出版者	社団法人日本機械学会
	シャダンホウジン ニホン キカイ ガッカイ
	THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS
収録物名	日本機械学会論文集A編
巻(号)	75(752)
ページ	397-403
刊行年月	2009-04
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/2878
PISSN	03875008
NCID	AN0018742X
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	学術雑誌論文 Journal Article

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