シリコン中の不純物拡散の研究

前川, 俊一

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固定URL: https://hdl.handle.net/11094/28810

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00563_Abstract pdf なし 327 KB 305 2014.05.08 要旨/Abstract  

論文情報

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タイトル
シリコン中の不純物拡散の研究
著者
著者名
前川, 俊一 ; マエカワ, トシカズ
学位名
工学博士
学位授与年月日
1964-04-28
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
乙第00109号
学位記番号
00563
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/28810
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / その他 / 1964年度
注記
著者からインターネット公開の許諾が得られていないため、論文の要旨のみを公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available because consent from the author has not been obtained. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.