ブリルアン振動を用いた酸化物薄膜の弾性定数測定と組織評価

舎川, 知広; 荻, 博次; 中村, 暢伴 他

日本機械学会論文集A編, 2009, 75(749), 72-78

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タイトル
ブリルアン振動を用いた酸化物薄膜の弾性定数測定と組織評価
Elastic Constant and Microstructure of Oxide Thin Films Studied by Brillouin Oscillation
ブリルアン シンドウ ヲ モチイタ サンカブツ ハクマク ノ ダンセイ テイスウ ソクテイ ト ソシキ ヒョウカ
著者
著者名
舎川, 知広 ; シャガワ, トモヒロ ; Shagawa, Tomohiro
NRID
1000090252626 1000090252626
researchmap permalink
read0042771 read0042771
Scopus Author ID
35563683500 35563683500
著者名
荻, 博次 ; オギ, ヒロツグ ; Ogi, Hirotsugu
NRID
1000050452404 1000050452404
researchmap permalink
nnakamura nnakamura
Scopus Author ID
7403356186 7403356186
ORCID
0000-0002-5338-842X 0000-0002-5338-842X
著者名
中村, 暢伴 ; ナカムラ, ノブトモ ; Nakamura, Nobutomo
NRID
1000080112027 1000080112027
著者名
平尾, 雅彦 ; ヒラオ, マサヒコ ; Hirao, Masahiko
著者名
小高, 秀文 ; オダカ, ヒデフミ ; Odaka, Hidefumi
著者名
木原, 直人 ; キハラ, ナオト ; Kihara, Naoto
キーワード等
Nondestructive Inspection
Elasticity
Reliability
Micromechanics
Brillouin Oscillation
Sound Velocity
Oxide Thin Films
出版者
社団法人日本機械学会
シャダンホウジン ニホン キカイ ガッカイ
THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS
収録物名
日本機械学会論文集A編
巻(号)
75(749)
ページ
72-78
刊行年月
2009-01
言語
日本語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/2917
PISSN
03875008
NCID
AN0018742X
アクセス権
open access
出版タイプ
Version of Record
カテゴリ
学術雑誌論文 Journal Article