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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
15854_Abstract	pdf	なし	145 KB	89	2014.08.04	要旨/Abstract
15854_Dissertation	pdf	なし	24.1 MB	130	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工に関する研究
	プラズマ CVM Chemical Vaporization Machining ニヨル チョウセイミツ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
著者	NRID 1000060240074 1000060240074 researchmap permalink read0014013 read0014013 Scopus Author ID 7201754767 7201754767 著者名 山村, 和也 ; ヤマムラ, カズヤ ; Yamamura, Kazuya
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2001-01-29
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第08178号
学位記番号	15854
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/306
DOI	https://doi.org/10.11501/3184384
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 2000年度
	博士論文 / その他 / 2000年度

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