大気圧プラズマCVDによる太陽電池用アモルファスSiの高速成膜に関する研究

垣内, 弘章

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固定URL: https://doi.org/10.11501/3184347

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タイトル
大気圧プラズマCVDによる太陽電池用アモルファスSiの高速成膜に関する研究
タイキアツ プラズマ CVD ニヨル タイヨウ デンチヨウ アモルファスSi ノ コウソク セイマク ニ カンスル ケンキュウ
著者
NRID
1000010233660 1000010233660
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Scopus Author ID
7005118424 7005118424
著者名
垣内, 弘章 ; カキウチ, ヒロアキ ; Kakiuchi, Hiroaki
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
2001-01-29
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
乙第08158号
学位記番号
15834
言語
日本語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/315
DOI
https://doi.org/10.11501/3184347
アクセス権
open access
出版タイプ
Version of Record
カテゴリ
博士論文 本文あり / その他 / 2000年度
博士論文 / その他 / 2000年度