半導体結晶中の格子欠陥の研究とその半導体素子製造工程の改善への応用に関する研究

行本, 善則

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03736_Abstract pdf なし 177 KB 290 2014.05.20 要旨/Abstract  

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タイトル
半導体結晶中の格子欠陥の研究とその半導体素子製造工程の改善への応用に関する研究
著者
著者名
行本, 善則 ; ユキモト, ヨシノリ
学位名
工学博士
学位授与年月日
1976-10-29
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
乙第01743号
学位記番号
03736
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/31816
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / その他 / 1976年度
注記
著者からインターネット公開の許諾が得られていないため、論文の要旨のみを公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available because consent from the author has not been obtained. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.