半導体結晶中の格子欠陥の研究とその半導体素子製造工程の改善への応用に関する研究

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03736_要旨	pdf	177 KB	148	要旨/Abstract

タイトル	半導体結晶中の格子欠陥の研究とその半導体素子製造工程の改善への応用に関する研究
著者	行本, 善則行本, 善則
著者 (ヨミ)	ユキモト, ヨシノリ
学位名	工学博士
学位授与年月日	1976-10-29
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第01743号
学位記番号	03736
URL	http://hdl.handle.net/11094/31816
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1976年度

著者版フラグ	none
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	半導体結晶中の格子欠陥の研究とその半導体素子製造工程の改善への応用に関する研究
DC.creator	行本, 善則
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/31816
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1976-10-29
citation_title	半導体結晶中の格子欠陥の研究とその半導体素子製造工程の改善への応用に関する研究
citation_author	行本, 善則
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citation_date	1976-10-29